一种UV-C波段的AlGaN基UV-LED器件设计.docx

PAGE4

摘要

UV光（UltraViolet），又称紫外线，是阳光中波长为400nm-10nm的光线。高频短波UV-C波段（200nm-280nm）紫外光具有宽广的前景和市场，如医用仪器、日用杀菌设备、空气净化、高精度密度的光学数据存储与通信等等领域。III-V族氮化物半导体材料（GaN、AlGaN和AIN)和金刚石具有较大的禁带宽度，作为短波长的波长范围内的潜在材料，一直被研究人员所偏爱。但对于这些材料光电能力的效率以及导电性能的控制都存在一些问题。AlGaN基UV-LED是固态紫外光源，它汞危害极低、工作电压较小、体积不大、发光效率不俗、可使用时间长、利于集成。但目