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《薄膜光学与技术》2012期末考试试题A答案--第1页
《薄膜光学与技术》2012期末考
试试题A-答案
《薄膜光学与技术》2012期末考试试题A答案--第1页
《薄膜光学与技术》2012期末考试试题A答案--第2页
2012-2013学年第1学期《薄膜光学与技术》期末考试试题（A卷）
参考答案及评分标准
一、填空题（每空1分，共24分）
1、在折射率为3.5的基底表面镀单层减反射膜，对于4000nm的光波，理论上
能达到最佳减反射效果的薄膜折射率为：1.8708，需要镀制的薄膜光学厚
度为1000nm。
2、若薄膜的折射率为n，光线在薄膜内的折射角为θ，则s、p光的修正导纳分
别为ncosθ、n/cosθ。
3、对于波长为λ的光来说，单层膜的光学厚度每增加λ/4，薄膜的反
射率就会出现一次极值变化。当薄膜的折射率小于基底折射率时，出现的第一
个反射率极值是极小（极大、极小）值。
4、虚设层的形成条件是：薄膜的光学厚度等于半波长的整数倍。
s
5、周期性对称膜系(pqp)的等效折射率和基本周期/pqp的等效折射率完
全相同，其等效位相厚度等于基本周期的s倍。
6、折射率为n，光学厚度为λ/4，基底的折射率为n，那么，该单层膜与基
10s
底的组合导纳为：2
Ynn
1s
7、介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的折射率有关，折射率差值越
大，高反射带越宽。
8、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量真空的目的。
9、镀膜室内真空度高表明气体压强小，真空度低则气体压强大。
10、薄膜几何厚度的监控通常用石英晶振膜厚仪来实现，光学厚度常常
采用光电膜厚仪来监控。
11、采用PVD技术制造薄膜器件时，薄膜折射率的误差主要来自三个方面：膜
层的聚集密度、膜层的微观组织物理结构、膜层的化学成分。
12、改善膜层厚度均匀性的措施包括旋转夹具和膜层厚度调节板。
13、采用光电极值法监控膜厚，如果需要镀制光学厚度为900nm的薄膜，在
500-700nm范围内，可以选取的监控波长为600和514.3nm。
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《薄膜光学与技术》2012期末考试试题A答案--第2页
《薄膜光学与技术》2012期末考试试题A答案--第3页
二、辨析题：先回答以下说法是否正确？然后说明理由或修改正确。（15分）
说明：以上各题判断正确1分，原因叙述正确或修改正确2分（对于正确的表
述，可以不说明原因）。叙述不完全的根据实际情况酌情给分。
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