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基于模态耦合原理的谐振式压力传感器设计与检测性能研究

一、引言

随着现代科技的发展，压力传感器的应用领域越来越广泛，其性能的优劣直接影响到众多工业领域和日常生活场景的精准测量和智能控制。因此，开发具有高灵敏度、高精度和稳定性的压力传感器是当前传感器领域的研究热点之一。基于模态耦合原理的谐振式压力传感器是一种新型的压力传感器，具有优良的检测性能和稳定性。本文将重点介绍基于模态耦合原理的谐振式压力传感器的设计与检测性能研究。

二、模态耦合原理及谐振式压力传感器设计

模态耦合原理是指在不同模态之间通过某种方式实现能量转换或信息传递的过程。在谐振式压力传感器中，模态耦合原理主要应用于压电材料的振动模态