一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法.pdfVIP

一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法--第1页

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN114497360A

(43)申请公布日2022.05.13

(21)申请号CN202210073781.1

(22)申请日2022.01.21

(71)申请人上海积塔半导体有限公司

地址201306上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号

(72)发明人刘金营

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

H01L43/08

H01L43/10

H01L43/12

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种自旋转移矩磁性随机存储器及

其制备方法

(57)摘要

本发明提供一种自旋转移矩磁性随

机存储器及其制备方法，自旋转移矩磁性

随机存储器包括第一金属连接结构、底部

电极、磁性隧道结、顶部电极及第二金属

连接结构，底部电极呈U型形貌，位于第

一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法--第1页

一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法--第2页

一金属连接结构上，且与第一金属连接结

构电连接；磁性隧道结呈U型形貌覆盖底

部电极的表面与底部电极电连接；顶部电

极呈U型形貌覆盖磁性隧道结的表面与磁

性隧道结电连接；第二金属连接结构位于

顶部电极上与顶部电极电连接。本发明通

过呈U型形貌的底部电极、磁性隧道结及

顶部电极，可使得自旋转移矩磁性随机存

储器在增强存储器件的记忆能力的同时，

减小占地面积，以利于自旋转移矩磁性随

机存储器的微缩。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

实质审查的生效IPC(主分

类):H01L43/08专利申请

2022-05-31实质审查的生效

号:2022100737811申请

日

2022-05-13公开发明专利申请公布

一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法--第2页

一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法--第3页

权利要求说明书

【一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法】的权利说明书内容是请下载

后查看

一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法--第3页

一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法--第4页

说明书

【一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法】的说明书内容是请下载后查

看

一种自旋转移矩磁性随机存储器及其制备方法--第4页