半导体设备行业系列报告之九：自主可控向上游深化，半导体零部件有望复刻设备成长.docx

目录

半导体零部件受益国产化浪潮，国内市场空间广阔 7

半导体零部件处于芯片产业链上游，自主可控需求日益急迫 7

半导体零部件跟随下游设备扩张市场，全球竞争格局相对分散 10

零部件种类详解：各环节均有高技术壁垒关键零部件13

机械类：价值量超20%且种类繁多 13

电气类：技术难度高，对刻蚀、沉积设备至关重要 16

机电一体类：温控、EFEM等对设备进行辅助的模块及子系统 18

气体/液体/真空系统类：重点关注管阀、GasBox产品 20

重点个股：各类零部件均涌现核心标的 21

江丰电子：第二成长曲线零部件业务快速成长 21

珂玛科技：陶瓷零部件技术突破难度较高核心产品 23

先锋精科：金属零部件具备优势，最大客户中微公司 25

富创精密：半导体零部件业绩规模及产品布局国内领先 27

新莱应材：真空管阀有望加速国产替代 28

正帆科技：气体供应系统及GasBox快速增长 29

英杰电气：国内射频电源研发布局相对领先 32

风险提示 34

图表目录

图1：半导体零部件位于半导体设备上游 7

图2：前道设备中刻蚀、薄膜沉积价值量占比合计超40% 10

图3：半导体设备各工艺环节具有广阔市场空间 10

图4：近10年来刻蚀、化学薄膜沉积设备全球市场规模增长最快 11

图5：国内主流半导体设备公司直接材料成本占营业成本比例平均约90% 11

图6：2023年全球设备厂商采购的半导体零部件市场规模约340亿美元 12

图7：2022年全球半导体零部件竞争格局相对分散 12

图8：Showerhead在CVD设备中为最核心零部件之一 14

图9：硅电极及硅环为半导体刻蚀设备核心零部件 14

图10：典型半导体CVD设备的先进陶瓷使用情况 15

图11：典型半导体刻蚀设备的先进陶瓷使用情况 15

图12：射频电源原理示意 16

图13：射频电源主要结构 17

图14：射频电源是PECVD中关键零部件之一 17

图15：CCP刻蚀射频电源应用示意 17

图16：ICP刻蚀射频电源应用示意 17

图17：EFEM用于晶圆进出半导体设备 18

图18：EFEM由装载装置、对准装置、机械手等模块组成 18

图19：机械手用于机械搬运，是EFEM核心部件 18

图20：水冷式温控器原理示意 19

图21：球阀可用于控制气体/液体压力及流量 20

图22：传输阀连接真空泵及反应腔 20

图23：角阀多用于隔离不同腔室 20

图24：闸阀通过闸板启闭控制传输介质 20

图25：GasBox在半导体设备外对工艺气体进行整体分配与输运 21

图26：江丰电子营收结构以靶材业务为主，半导体零部件业务快速增长 22

图27：江丰电子1H24半导体零部件业务营收占比24% 22

图28：江丰电子近年来毛利率维持约30%，归母净利润率约10% 22

图29：江丰电子9M24归母净利润2.9亿，同比增49% 22

图30：珂玛科技主业为陶瓷零部件 24

图31：2023年珂玛科技陶瓷材料零部件中泛半导体营收占比66% 24

图32：珂玛科技9M24归母净利润高增295% 25

图33：珂玛科技2024年以来盈利能力大幅提升 25

图34：先锋精科产品结构以机械类工艺部件为主 25

图35：关键工艺部件中腔体、内衬占比较高 25

图36：先锋精科主要产品示意 26

图37：先锋精科9M24归母净利润增近250% 26

图38：先锋精科9M24销售净利率达到20% 26

图39：富创精密产品布局覆盖机械类、机电一体类、气体/液体/真空系统类 27

图40：富创精密2021~2023年模组产品营收高增 27

图41：富创精密2023年模组及结构件合计占比近7成 27

图42：富创精密归母净利润9M24回升至1.9亿 28

图43：富创精密9M24毛利率回升至28.8% 28

图44：新莱应材产品结构以包材为主 28

图45：新莱应材下游泛半导体营收占比约25% 28

图46：新莱应材9M24归母净利润2.0亿 29

图47：新莱应材毛利率9M24约为25.0% 29

图48：正帆科技高纯气体和湿化学品供应系统是下游客户厂房建设重要组成部分31

图49：正帆科技气体供应系统示意 31

图50：正帆科技营收以供应系统及零部件为主，同时覆盖电子气体业务 31

图51：正帆科技下游应用最大领域包括集成电路及光伏 31

图52：正帆