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***********************************其他表面处理技术四、气相沉积物理气相沉积(PVD)化学气相沉积(CVD)按照过程的本质第39页,共44页,星期六,2024年,5月*其他表面处理技术四、气相沉积(1)涂层具有很高的硬度(TiC为3?200~4?100HV,TiN为2?450HV)、低的摩擦系数和自润滑性能,所以抗磨损性能良好。(2)涂层具有很高的熔点(TiC为3160℃,TiN为2?950℃),化学稳定性好,具有很好的抗粘着磨损能力,发生冷焊和咬合的倾向很小。(3)涂层具有较强的抗腐蚀能力。(4)涂层在高温下也具有良好的抗氧化能力。第40页,共44页,星期六,2024年,5月*其他表面处理技术四、气相沉积(一)化学气相沉积(2)吸附于工件表面的各种物质发生表面化学反应。(1)反应气体向工件表面扩散并被吸附。(3)生成物质点聚集成晶核并增大。第41页,共44页,星期六,2024年,5月*其他表面处理技术四、气相沉积(一)化学气相沉积(5)沉积层与基体的界面发生元素的互扩散,形成镀层。(4)表面化学反应中产生的气体产物脱离工件表面返回气相。第42页,共44页,星期六,2024年,5月*其他表面处理技术四、气相沉积(二)物理气相沉积物理气相沉积(简称PVD)是将金属、合金或化合物放在真空室中蒸发(或称溅射),使这些气相原子或分子在一定条件下沉积在工件表面上的工艺。第43页,共44页,星期六,2024年,5月*其他表面处理技术四、气相沉积(二)物理气相沉积离子镀真空溅射真空蒸镀、第44页,共44页,星期六,2024年,5月*****************************************************表面化学热处理技术二、渗氮(氮化)(一)气体渗氮(1)经过渗氮后钢表面形成一层极硬的合金氮化物,渗氮层的硬度一般可达到68~72HRC,不需要再经过淬火便具有很高的表面硬度和耐磨层,而且还可以保持到600~650℃而不明显下降。(2)渗氮后钢的疲劳极限可提高15%~35%。这是由于渗氮层的体积增大,使工件表面产生了残余压应力。(3)渗氮后的钢具有很高的抗腐蚀能力。(4)渗氮处理后,工件的变形很小,适合精密模具的表面强化。第7页,共44页,星期六,2024年,5月*表面化学热处理技术二、渗氮(氮化)(一)气体渗氮表2部分模具钢的气体渗氮工艺规范牌号处理方法渗氮工艺规范渗氮层深度/mm表面硬度阶段渗氮温度/℃时间/h氨分解率/%30CrMnSiA一段—500±525~3020~300.2~0.358HRCCr12MoV
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