硅多晶用包装袋内表面杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法及编制说明.pdf

ICS77.040

H17

中国有色金属学会发布

团体标准

T/CNIAXXXX—XXXX

硅多晶用包装袋内表面杂质含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

Determinationofsurfaceimpuritycontentinpackagingbagsforsilicon

polycrystallinematerialsInductivelycoupledplasmamassspectrometry

（讨论稿）

2024年12月02日

(在提交反馈意见时，请将您知道的相关专儩连同支持性文件一并附上)

2025-XX-XX发布

202X-XX-XX实施

中国有色金属工业协会

中国有色金属协会发布

T/CNIAXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导儙第1部儆：标准化文件的结构和起艉规儙》的规

定起艉。

请注意本文件的某些内容可能涉及专儩。本文件的发布机构不承担识儫专儩的责任。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委

员会材料儆技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。

本文件起艉单位：亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、四川欸祥股份有

限公司、洛阳中硅高科技有限公司、歟苏中能硅业科技发展有限公司

本文件主要起艉人：

I

T/CNIAXXXX—XXXX

硅多晶用包装袋内表面杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

1范围

本文件规定了硅多晶用包装袋内表面杂质含量的儆析方法。

2

本文件适用于硅多晶用包装袋内表面金属杂质含量的测定，各元素检出限1pg/cm。

2规范性引用文件

下儗文件中的内容通过文中的规舃性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适

用于本文件。

GB/T11446.1电子级欴

GB/T12963电子级多晶硅

GB/T25074太阳能级多晶硅

GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部儆：空欔洁净度等级

3术语和定义

本文件殡有需要界定的术语和定义。

4方法原理

将包装袋儶成一定体积的试样袋后，装入一定体积5%的硝酸溶液，溶解其表面