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三维驱动控制系统设计.docx

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    ADDINCNKISM.UserStyle引言

    压电驱动器具有高精度、快速响应和结构紧凑的特点【1】。由于其优异的介电、压电和铁电性能，锆钛酸铅（PZT）厚膜和陶瓷广泛应用于非易失性存储器、微传感器和微执行器以及超声波传感器等微电子机械应用，取得了一定的实际效果【2】。锆钛酸铅压电陶瓷薄膜由于其先进的铁电和压电特性，在传感器、执行器、传感器、非易失性随机存取存储器、微传感器和微机电系统等领域得到了广泛的应用。

    非接触式电流传感器广泛应用于需要与一次电流进行电气隔离的电气设备的状态监测，各种磁场探测器，包括霍尔器件和

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