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(2)激光干涉仪如图1-2所示,激光干涉仪的主要组成部件有激光头、直线度测量组件、垂直度测量组件和安装附件等。图1-2激光干涉仪的主要组成部件第18页,共49页,星期六,2024年,5月(二)常用量具、检具和工装的使用方法1.使用百分表和千分表的注意事项(1)使用前,应检查测量杆活动的灵活性,即轻推测量杆时,测量杆在套筒内的移动要灵活,没有卡死现象,每次手松开后,指针能回到原来的刻度位置。(2)使用时,必须把百分表或千分表固定在磁力表座上,否则容易造成测量结果不准确,或摔坏百分表,但是夹紧力不能过大,以免因套筒变形而使测量杆活动不灵活。(3)测量时,用0-5mm规格的百分表要有0.3-1mm的预压缩量,用0-1mm规格的千分表要有0.2-0.4mm的预压缩量,保持一定的初始测力,以免无法测出负偏差。(4)测量时,不要使测量杆的行程超过它的测量范围,不要使表头突然撞到工件上,也不能用百分表/千分表测量粗糙度大的表面或有显著凹凸不平的工作面。(5)测量平面时,百分表/千分表的测量杆要与平面垂直,测量圆柱形工件时,测量杆要与工件的中心线垂直,否则会使测量杆活动不灵或测量结果不准确。(6)为方便读数,在测量前一般都让大指针指到刻度盘的零位。第19页,共49页,星期六,2024年,5月2.数显千分表的使用方法(1)准备1)用洁净柔软的不脱落棉织物清洁测量表面各部位。2)检查各按键是否灵活、有效,示值是否清楚稳定,笔划有无缺断现象。(2)操作1)打开电源(按“ZERO/ON”键可打开电源)。2)按“In/mm”键选择单位制(米制时有“mm”字符出现,英制时有“In”字符出现)。3)按“ABS/PRESET”键使数值置零,即可开始测量。4)长按“ZERO/ON”键断电。第20页,共49页,星期六,2024年,5月3.杠杆表杠杆百分表体积较小,适合检验数控车床主轴孔的径向圆跳动误差、检验加工中心中央T形槽的直线度误差等。如图1-3所示,杠杆千分表的测量杆轴线与被测工件表面的夹角愈小,误差就愈小。如果由于测量需要,α角无法调小时(当α15°),应对其测量结果应进行修正。第21页,共49页,星期六,2024年,5月图1-3杠杆千分表测杆轴线位置引起的测量误差当平面上升距离为a时,杠杆千分表摆动的距离为b,也就是杠杆千分表的读数为b,因为ba,所以指示读数增大。具体修正计算式如下:例如,用杠杆千分表测量机床工作台平面时,测量杆轴线与工作台表面夹角α为30°,测量读数为0.048mm,求正确测量值。解:第22页,共49页,星期六,2024年,5月4.自准直仪利用自准直仪可以精确地测量机床或仪器导轨的直线度误差,也可以测量平板等的平面度误差,再配上光学直角器和带磁性座的反射镜等附件,还可以测量垂直导轨的直线度误差,以及垂直导轨和水平导轨之间的垂直度误差,与多面体联用可以测量圆分度误差。第23页,共49页,星期六,2024年,5月(1)检测原理自准直仪原理如图1-4所示,光线通过位于物镜焦平面的分划板后,经物镜形成平行光。平行光被垂直于光轴的反射镜反射回来,再通过物镜后在焦平面上形成分划板标线像与标线重合。当反射镜倾斜一个微小角度α角时,反射回来的光束就倾斜2α角。图1-4自准直仪原理图1-5十字标线自准直仪的光学系统是由光源发出的光经分划板、半透反射镜和物镜后射到反射镜上。如反射镜倾斜,则反射回来的十字标线像偏离分划板上的零位,如图1-5所示。第24页,共49页,星期六,2024年,5月(2)使用方法以自准直仪与多面棱镜联合使用检验数控转台分度误差为例,说明其使用方法,见图1-6。检验数控转台分度误差时,先清洁数控转台和多面棱镜座相关部位,安装多面棱镜座并对其打表找正,使其与转台同轴(0.005mm内),将多面棱镜安装在镜座上,并对其进行紧固,然后安装自准直仪支架,将自准直仪置于支架上,并且将自准直仪电源线接好,调整水平和角度,完成对光。转动数控转台,通过目镜转动手轮,使其指示的黑线在亮十字像中间,依次记录数据,用公式计算出数控转台分度误差。图1-6自准直仪检验数控转台分度误差第25页,共49页,星期六,2024年,5月5.水平仪(1)工作原理水平仪原理是利用气泡在玻璃管内,气泡保持在最高位置,如图1-7所示,表明该平面左端高于右端。图1-7精密水平仪气泡第26页,共49页,星期六,2024年,5月1)水平仪刻度示值。实训室的水平仪灵敏度是0.02mm/m,此刻度示值是以1米为基长
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