改良西门子法工艺详解.docx

改进西门子法生产多晶硅工艺流程

多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽一样，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术隐秘，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改进西门子法、硅烷法和流化床法。改进西门子法是目前主流的生产方法，承受此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的

85％。但这种提炼技术的核心工艺仅仅把握在美、德、日等 7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的 90%，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严禁技术转让。短期内产业化技术