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真空漏放气试验平台需求说明.docx

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真空漏放气试验平台需求说明

一、货物需求明细

序号

采购计划编号

货物名称

数量

单位

备注

1

器件泄漏测试设备

1

1.1

泄漏测试模块I

1

1.2

泄漏测试模块II

1

1.3

泄漏测试模块III

1

1.4

流量标定模块

1

1.5

环境控制模块

1

1.6

附属模块

1

2

材料放气检测设备

1

2.1

放气检测模块I

1

2.2

放气检测模块II

1

2.3

标准流量模块

1

2.4

控制模块

1

2.5

备品备件

1

二、技术要求

序号

货物名称

技术要求

1

器件泄漏测试设备

1.1漏率测试范围:(1~5×10-16)Pa

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