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真空漏放气试验平台需求说明
一、货物需求明细
序号
采购计划编号
货物名称
数量
单位
备注
1
器件泄漏测试设备
1
套
1.1
泄漏测试模块I
1
套
1.2
泄漏测试模块II
1
套
1.3
泄漏测试模块III
1
套
1.4
流量标定模块
1
套
1.5
环境控制模块
1
套
1.6
附属模块
1
套
2
材料放气检测设备
1
套
2.1
放气检测模块I
1
套
2.2
放气检测模块II
1
套
2.3
标准流量模块
1
套
2.4
控制模块
1
套
2.5
备品备件
1
套
二、技术要求
序号
货物名称
技术要求
1
器件泄漏测试设备
1.1漏率测试范围:(1~5×10-16)Pa
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