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文件名称：富临蒸发台蒸发ITO作业指导书 文件编号： 版本号：A/0
富临蒸发台蒸发ITO作业指导书
制订单位：研发部
制订日期：2025年6月20日发行日期： 年 月 日修订日期： 年 月 日
核准 审核 制作
文件名称：富临蒸发台蒸发ITO作业指导书
文件名称：富临蒸发台蒸发ITO作业指导书
版本号：A/0
文件编号：
目的：
用于定义LED芯片〔或其他光电产品〕在富临蒸发台进展透亮导电金属〔ITO〕蒸镀的程序
范围：
描述在LED芯片进展透亮导电金属ITO蒸镀过程所使用的材料,设备和程序
定义或缩写词：ITO：氧化铟锡
参考文件：无
权责：
产线员工
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