JJF(皖) 146-2023 白光干涉轮廓仪校准规范　　.docxVIP

(皖)

安徽省地方计量技术规范

JJF(皖)146—2023

白光干涉轮廓仪校准规范

CalibrationSpecificationforWhiteLightInterferenceProfiler

2023-01-09发布2023-03-01实施

安徽省市场监督管理局发布

JJF(皖)146—2023

白光干涉轮廓仪校准规范

CalibrationSpecificationforWhiteLight

InterferenceProfiler

JJF(皖)146-2023

归口单位：安徽省几何量计量技术委员会主要起草单位：安徽省计量科学研究院

安徽省长江计量所

参加起草单位：深圳市中图仪器股份有限公司中国计量大学

合肥一煊检测技术有限公司

中乾格致精密测量技术(杭州)有限公司

本规范委托安徽省几何量计量技术委员会解释

JJF（皖）146—2023

本规范主要起草人：

丁晨（安徽省计量科学研究院）童树之（安徽省长江计量所）

邢献军（安徽省计量科学研究院）石韡（安徽省长江计量所）

蒋加平（安徽省长江计量所）参加起草人：

刘见桥（深圳市中图仪器股份有限公司）程银宝（中国计量大学）

魏超（合肥一煊检测技术有限公司）

崔洪彬（中乾格致精密测量技术（杭州）有限公司）

I

目录

引言 III

1范围 1

2引用文件 1

3术语 1

3.1台阶高度 1

3.2线间隔 1

4概述 2

4.1用途 2

4.2构造 2

4.3原理 2

5计量特性 4

5.1垂直（Z）方向示值误差 4

5.2垂直（Z）方向示值重复性 4

5.3水平（X、Y）方向示值误差 4

5.4水平（X、Y）方向示值重复性 4

5.5表面粗糙度（Ra）示值误差 4

6校准条件 4

6.1环境条件 4

6.2测量标准及其他设备 4

7校准项目和校准方法 4

7.1垂直（Z）方向示值误差 4

7.2垂直（Z）方向示值重复性 6

7.3水平（X、Y）方向示值误差 6

7.4水平（X、Y）方向示值重复性 7

7.5表面粗糙度（Ra）示值误差 7

8校准结果的表达 8

II

9复校时间间隔 8

附录A垂直（Z）方向示值误差校准结果的测量不确定度评定 9

附录B校准证书内容及内页格式 13

III

引言

JJF1001－2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1－2012《测量不确定度评定与表示》、JJF1071－2010《国家计量校准规范编写规则》和JJF1094－2002《测量仪器特性评定》共同构成支撑本校准规范制定的基础性系列规范。

本规范为首次发布。

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1

白光干涉轮廓仪校准规范

1范围

本规范适用于白光干涉轮廓仪的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

GB/T10610—2009产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法

GB/T39516—2020微纳米标准样板(几何量)

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3术语

3.1台阶高度stepheight(GB/T39516—2020,台阶高度3.3)

具有微纳米级准确度和均匀性的台阶或沟槽。台阶高度示意图见图1。

Y轴测量

范

m

X轴测量范围/μm

(a)台阶

(c)台阶截面图

Y轴

μm

X轴测量范围/μm

(b)沟槽

(d)沟槽截面图

图1台阶高度示意图

3.2线间隔pitch(GB/T39516—2020,线间隔3.2)

具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距P不大于10μm的周期性刻线。以相邻同侧周期性刻线边缘之间的距离或相邻周期性刻线几何结构中心之间的距离表征刻线间隔。线间隔示意图见图2。

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2

图2线间隔示意图

4概述

4.1用途

白光干涉轮廓仪主要用于样品微纳级表面粗糙度、台阶高度等表面形