《精密气体配送系统》课件.pptVIP

**********************精密气体配送系统本演示文稿将介绍精密气体配送系统，包括其定义、用途、组成部分、特点、应用领域、设计原则、实施步骤、发展趋势和未来展望。概述精密气体配送系统精密气体配送系统为半导体、光伏、医药化工等领域提供高纯度、高精度、高可靠性的气体供应解决方案。重要作用该系统对生产过程的安全性、可靠性、生产效率和产品质量至关重要。气体配送系统的定义和用途定义气体配送系统是将各种气体从源头到使用地点进行安全、可靠、高效传输的系统。用途该系统用于将气体输送到生产设备、实验室、医疗设施等，满足不同应用场景的气体需求。气体配送系统的组成部分气源包括气体供应设备、气瓶或气体发生器。管道系统用于传输气体的管道，通常由不锈钢或其他耐腐蚀材料制成。调压阀和流量计用于调节气体压力和流量，确保气体供应的稳定性。监控系统用于监控气体压力、流量、纯度等参数，保障系统的安全和稳定运行。压缩机和气体输送泵压缩机用于将气体压缩到所需的压力，以满足远距离输送或特定应用的需求。气体输送泵用于将气体输送到高处或压力较高的区域，通常用于气体输送管道系统。储气罐和管道系统储气罐用于存储气体，并根据需要释放到管道系统中。管道系统用于将气体输送到不同地点，通常由不锈钢或其他耐腐蚀材料制成。调压阀和流量计1调压阀用于调节气体压力，以满足不同设备或应用的需求。2流量计用于测量气体流量，以确保气体供应的稳定性。气体纯度检测装置检测方法气体纯度检测装置采用气相色谱法、质谱法等方法对气体纯度进行监测。安全保障该装置可及时发现气体中的杂质，确保气体质量符合生产要求。洁净室与气体配送系统1洁净度要求2气体纯度要求3系统可靠性精密气体配送系统的特点1高纯度气体纯度达到高标准，满足精密制造工艺要求。2恒定流量流量稳定可靠，确保生产过程的稳定性和一致性。3快速反应系统能够快速响应生产需求，及时提供所需的的气体。4恒温恒压气体温度和压力保持恒定，确保气体质量稳定。高纯度和恒定流量高纯度气体精密气体配送系统采用高纯度气体源，并配备完善的纯度检测装置。恒定流量流量控制系统精确控制气体流量，确保气体供应的稳定性。快速反应和恒温恒压1快速响应系统能够快速响应生产需求，提供及时、可靠的气体供应。2恒温恒压系统采用恒温恒压技术，确保气体质量稳定，满足生产工艺要求。高可靠性和易维护高可靠性系统采用高可靠性组件和先进的控制技术，确保系统的安全性和可靠性。易维护系统设计注重易维护性，方便操作人员进行日常维护和检修。精密气体配送系统的应用领域半导体制造1氮气用于清洗和惰性气体保护。2氩气用于等离子体蚀刻和离子注入。3氧气用于氧化和清洗工艺。4氢气用于还原和退火工艺。光伏产业1硅烷用于多晶硅生产。2氮气用于清洗和惰性气体保护。3氧气用于氧化和清洗工艺。医药化工氮气用于惰性气体保护和清洗。氧气用于氧化和合成反应。二氧化碳用于反应控制和产品纯化。精密气体配送系统的设计原则1安全性2可靠性3经济性4可维护性5可扩展性合理的系统布局平面布局根据生产工艺需求，合理规划气体配送系统的平面布局。立体布局充分利用空间，优化气体配送系统的立体布局。流体力学设计1压力损失优化管道设计，降低压力损失，提高气体传输效率。2流速控制控制气体流速，避免气体泄漏和管道振动。材料选择与焊接工艺材料选择选择耐腐蚀、耐高温、耐压的材料，确保管道系统的安全性和可靠性。焊接工艺采用专业的焊接工艺，确保管道接头的牢固性和密封性。检测与监控系统1压力监控实时监测气体压力，确保气体供应的稳定性。2流量监控实时监测气体流量，确保气体供应的准确性。3纯度监控实时监测气体纯度，确保气体质量符合生产要求。4报警系统当系统出现异常时，及时报警，提醒操作人员采取措施。精密气体配送系统的实施步骤1需求分析根据生产工艺需求，确定所需气体种类、纯度、流量和压力等。2方案设计根据需求分析，设计气体配送系统方案，包括系统布局、管道设计、设备选型等。需求分析和方案设计气体需求分析确定所需气体种类、纯度、流量、压力等，并根据生产工艺流程制定气体供应方案。方案设计根据气体需求分析，设计系统布局、管道设计、设备选型，并制定系统安装和调试方案。系统安装与调试管道安装根据设计方案，进行管道安装，并进行焊接和检验。设备安装安装压缩机、储气罐、调压阀、流量计等设备，并进行调试。系统调试对整