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修订履历HistoryofDocument
1.目的Purpose4
2.范围Scope4
3.名词定义TermsDefinition4
4.权责AuthorityDuty4
5.作业流程perationFlow4
6.作业内容perationDescription5
7.作业窗体Form11
8.相关文件ConcernedDocuments11
9.附录Attachment11
修订履历HistoryofDocument
版次文件号修订内容备
V01新增全文共计14页
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V03共计页
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V07共计页
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V09共计页
V10共计页
1.目的Purpose
建立T1厂制程用洁净干燥压缩空气(CDA)标准作业规范，以达到制程设备以及仪用空气所需的
洁净干燥空气所需标准。
2.适用范围Scope
2.1.T1厂制程用压缩空气(CDA)系统包括空压机及干燥机。
22提供压缩、高滤清程度、干燥、无含油之高质量空气供应T1厂制程区之生产用工具机及中
央设备厂房之仪器使用，如附件二所示。
3.名词定义Definition
3.1CDA:制程用压缩空气。
3.2Dryer:干燥机。
3.3CW:冷去U水。
4.权责AuthorityDuty
4.1呼吸用空气系统统标准作业规范由厂务工程部配合相关单位订定之，修订时亦同。
4.2CE-GC负责呼吸用空气系统之维护保养。
5.作业流程.peralionFlow
权责单位
组织
单位一
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