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ICS13.030.50
CCSZ05
3402
芜湖市地方标准
DB3402/T90—2024
含氟中水回用处理技术规程
Technicalcodeofpracticeforthereuseandtreatmentoffluorine-containing
wastewater
2024-12-16发布2025-01-01实施
芜湖市市场监督管理局发布
DB3402/T90—2024
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由芜湖长信科技股份有限公司提出。
本文件由芜湖市工业和信息化局归口。
本文件起草单位：芜湖长信科技股份有限公司、芜湖市标准化研究院、芜湖长信新型显示器件有限
公司、重庆永信科技有限公司。
本文件主要起草人：郑建军、王伟、邵家满、徐娇、殷旬旬、王灿、王雨晨、李伟、高坤旭。
I
DB3402/T90—2024
含氟中水回用处理技术规程
1范围
本文件规定了含氟中水回用处理一般要求、回用处理、再生水水质、水质监测。
本文件适用于半导体玻璃面板行业通过氢氟酸蚀刻减薄工艺产生的含氟中水的回收利用。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB18599一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准
GB/T19923城市污水再生利用工业用水水质
GB39731电子工业水污染物排放标准
DB34/4294半导体行业水污染物排放标准
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
含氟中水fluorine-containingwastewater
半导体玻璃面板行业通过氢氟酸蚀刻减薄工艺产生的经除氟处理后达到接管排放要求的污水。
3.2
再生水recycledwater
城市污水经适当再生工艺处理后，达到一定水质要求，满足某种使用功能要求，可以进行有益使用
的水。
[来源：GB/T19923—2024，3.2]
4基本要求
4.1含氟中水水质
含氟中水水质应满足表1要求。
表1含氟中水水质
项目要求
化学需氧量/（mg/L）≤80
氨氮/（mg/L）≤5
悬浮物/（mg/L）≤250
氟化物/（mg
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