《半导体元器件检测设备用有铁芯直线电机》征求意见稿.docx

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T/EJCCCSEXXXX—XXXX半导体元器件检测设备用有铁芯直线电机

1范围

本文件规定了半导体元器件检测设备用有铁芯直线电机的参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于半导体元器件检测设备用有铁芯直线电机的生产和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T2423.1电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温GB/T2423.2电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温GB/T2423.3环境试验第2部分：试验方法试验Cab：恒定湿热试验

GB/T2423.10环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动(正弦)

GB/T4208—2017外壳防护等级（IP代码）

GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件GB/T6388运输包装收发货标志

GB/T7345控制电机基本技术要求GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4参数

产品参数如表1所示。

表1参数

项目

指标

X轴

Y轴

行程（mm）

500

500

平面度

±3μm

±3μm

直线度

±3μm

±3μm

定位精度

±1μm

±1μm

重复精度

±0.5μm

±0.5μm

最大速度

1m/s

1m/s

加速度

1G

1G

5技术要求

5.1使用环境

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5.1.1海拔不超过1000m。

5.1.2环境温度为—20℃~45℃。

5.1.3空气的相对湿度不大于95%（温度为25℃时）。

5.1.4在无破坏绝缘的腐蚀性物质的环境中。

5.1.5无明显破坏电器绝缘气体或蒸汽的地方。

5.2外观

5.2.1电机表面不应有锈蚀，碰伤、划痕、涂覆层剥落，紧固件连接应牢固，引出线螺纹接线柱或接线片应完整无损，颜色和标志应正确，铭牌的字迹和内容应清晰无误，且不能脱落。

5.2.2电机不同电位的导电零件之间的电气间隙应不小于2.4mm，爬电距离不小于3.8mm。

5.2.3电机的所有金属零部件均应采取防锈措施。

5.2.4电机应设置铭牌，材质应采用耐化学腐蚀的材料制造。

5.3尺寸公差

几何尺寸及公差应符合图样要求，未注尺寸公差按GB/T1804的要求。

5.4装配质量

5.4.1零部件应齐全、完整，各部件应装配牢固，连接可靠。

5.4.2各转动部位应灵活可靠，不应有卡滞现象；各固定部位应无脱落现象。

5.5绝缘介电强度

电机的绝缘性能应承受50Hz、电压500V的工频耐压试验，历时1min无击穿和闪络现象。

5.6绝缘电阻

在正常试验大气条件及在产品专用技术条件规定的低温条件下，电枢绕组对机壳或轴孔间的绝缘电阻应不小于50MΩ;在产品专用技术条件规定的高温条件下，绝缘电阻应不小于10MΩ;在产品专用技术条件规定的湿然条件下,绝缘电阻应不小于1MΩ。

5.7环境适应性

5.7.1高温

电机应能承受（40±2）℃的高温试验，高温下电机应能正常工作，试验后各部件不应有影响其正常工作的裂纹或变形。

5.7.2低温

电机应能承受（-25±2）℃的低温试验，低温下电机应能正常工作，试验后各部件不应有影响其正常工作的裂纹或变形。

5.7.3恒定湿热

电机应能承受温度为（40±2）℃,相对湿度为80%～90%，48h的恒定湿热试验，恒定湿热条件下电机应能正常工作，试验后应无明显的外观质量变坏及影响正常工作的锈蚀现象。

5.8振动

电机应能承受1h的振动试验，振动试验后在额定电压下应能正常空载起动与运转。

5.9盐雾

电机应能承受16h或按产品专用技术条件规定的盐雾腐蚀。试验后，电机应拆开检查，任何部位不能有明显的腐蚀迹象和破坏性变质。

5.10连续工作时长

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在正常工作条件下，产品连续工作6h，各项功能应正常无误。

5.11安全

5.11.1电气安全应符合GB/T5226.1的规定，动力电导线和保护连接