JJF(皖) 146-2023 白光干涉轮廓仪校准规范.pdf

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JJF（皖）146-2023

自光干涉轮廓仪校准规范

CalibrationSpecificati。nf。rWhiteLightInterferenceProfiler

2023-03-01实施

2023-01-09发布

安徽省市场监督管理局发布

JJFC皖）146-2023

白光干涉轮廓仪校准规范

Calibrati。nSpecificati。nforWhiteLight~JJF（皖）146-2023~

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归口单位：安徽省几何量计量技术委员会

主要起草单位：安徽省计量科学研究院

安徽省长江计量所

参加起草单位：深圳市中图仪器股份有限公司

中国计量大学

合肥一煌检测技术有限公司

中乾格致精密测量技术〈杭州｜〉有限公司

本规范委托安徽省几何量计量技术委员会解释

JJF（皖）146-2023

本规范主要起草人z

丁晨（安徽省计量科学研究院〉

童树之（安徽省长江计量所）

邢献军（安徽省计量科学研究院）

石辑（安徽省长江计量所〉

蒋加平（安徽省长江计量所）

参加起草人z

刘见桥（深圳市中图仪器股份有限公司）

程银宝（中国计量大学）

魏超（合肥一煌检测技术有限公司）

崔洪彬（中乾格致精密测量技术（杭州）有限公司）

JJF（皖）146-2023

目录

引言”…”……”··”··”··”…“……”··”··”··””……”··”……·……··”…………...III

1范围．．．．”…………………··”……1

2引用文件”””…·”…·”…·”………”1

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3术语……………．…………1

3.1台阶高度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．…………………1

3.2线间隔”………………·…………1

4概述．．．．．”………………………..2

4.1用途．．．．”．．”．．．．”．．．．”．．．．”．．．．”．．．．”．．．．”．．．．”．．．．”．．．．”．．．．”．．．．”…………·…··…··…··…..2

4.2构造”…·”………·”………·”………·……..2

4.3原理．．．．”．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．………………2

5计量特性””…·”…·”…·”…·”…·”…·”……4