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光栅的结构及工作原理.pdfVIP

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光栅的结构及工作原理--第1页

光栅的结构及工作原理

光栅是利用光的透射、衍射现象制成的光电检测元件,它主要由标尺光栅和光栅

读数头两部分组成。通常,标尺光栅固定在机床的活动部件上(如工作台或丝杠),

光栅读数头安装在机床的固定部件上(如机床底座),二者随着工作台的移动而相

对移动。在光栅读数头中,安装着一个指示光栅,当光栅读数头相对于标尺光

栅移动时,指示光栅便在标尺光栅上移动。当安装光栅时,要严格保证标尺光栅

和指示光栅的平行度以及两者之间的间隙(一般取0.05mm或0.1mm)要求。

1.光栅尺的构造和种类

标尺光栅和指示光栅通称为光栅尺,它是用真空镀膜的方法光刻上均匀密集线纹

的透明玻璃片或长条形金属镜面。对于长光栅,这些线纹相互平行,各线纹之间

距离相等,我们称此距离为栅距。对于圆光栅,这些线纹是等栅距角的向心条

纹。栅距和栅距角是决定光栅光学性质的基本参数。常见的长光栅的线纹密度为

25,50,100,125,250条/mm。对于圆光栅,若直径为70mm,一周内刻线100-768

条;若直径为110mm,一周内刻线达600-1024条,甚至更高。同一个光栅元件,

其标尺光栅和指示光栅的线纹密度必须相同。

2.光栅读数头

图4-7是光栅读数头的构成图,它由光源、透镜、指示光栅、光敏元件和驱动

线路组成。读数头的光源一般采用白炽灯泡。白炽灯泡发出的辐射光线,经过透

镜后变成平行光束,照射在光栅尺上。光敏元件是一种将光强信号转换为电信

号的光电转换元件,它接收透过光栅尺的光强信号,并将其转换成与之成比例的

电压信号。由于光敏元件产生的电压信号一般比较微弱,在长距离传递时很容

易被各种干扰信号所淹没、覆盖,造成传送失真。为了保证光敏元件输出的信号

在传送中不失真,应首先将该电压信号进行功率和电压放大,然后再进行传送。

驱动线路就是实现对光敏元件输出信号进行功率和电压放大的线路。

图4-7光栅读镜头

根据不同的要求,读数头内常安装2个或4个光敏元件。

光栅的结构及工作原理--第1页

光栅的结构及工作原理--第2页

光栅读数头的结构形式,除图4-7的垂直入射式之外,按光路分,常见的还有分

光读数头、反射读数头和镜像读数头等。图4-8(a)、(b)、(c)分别给出了它们

的结构原理图,图中Q表示光源,L表示透镜,G表示光栅尺,P表示光敏元件,

表示棱镜。

图4-8光栅读镜头结构原理图

(a)分光读镜头(b)反射读镜头(c)镜像读镜头

光栅的结构及工作原理--第2页

光栅的结构及工作原理--第3页

光栅尺测量系统如图2所示,它由光源1、透镜2、标尺光栅3、指示光栅4、光

敏元件5和信号处理电路组成。信号处理电路又具有放大、整形和鉴向倍频功能。

通常情况下,除标尺光栅与工作台装在一起随工作台移动外,光源、透镜、指

示光栅、光敏元件和信号处理电路均装在一个壳体内,做成一个单独部件固定在

机床上。这个部件称为光栅读头,其作用是将莫尔条纹的信号转换成所需的电

脉冲信号。当标尺光栅随工作台一起移动时,光源通过聚光镜后,透过标尺光栅

和指示光栅形成忽明忽暗的莫尔条纹(光信号);光敏元件把光信号转换成电信

号,然后通过信号处理电路的放大、整形、鉴相倍频后输出或显示。为了测量转

向,至少要放置两个光敏元件,两者相距1/4莫尔条纹节距,这样当莫尔条纹

移动时,会得到两路信号相位相差π/2的波形;将输出信号送入鉴向电路,即

可判断移动方向。

图2光栅尺测量系统

l一光源;2一透镜;3一标尺光栅;4一指示光栅;5一光敏元件

为了提高光栅的分辨率,通常还用4

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