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半导体设备：行业深度剖析与发展趋势头豹词条报告系列
张俊雅
2025-01-14未经平台授权，禁止转载
摘要本文介绍了半导体设备的定义、功能和分类，重点介绍了集成电路前道工艺设备的七大工艺步骤及其对应的核心专用设备。文章指出，在相同产能下，集成电路设备投资量
随制程节点先进程度提升而大幅增长，当技术节点向5nm甚至更小的方向升级时，需要投入更多且先进的光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备。此外，文章还介绍了半导体设
备行业市场规模历史变化的原因和未来变化的趋势，包括长期来看，半
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