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氧化镓同质外延与功率器件制备研究

一、引言

随着微电子技术的快速发展，功率器件在各种电子设备中的应用越来越广泛。在众多材料中，氧化镓以其独特的物理和化学性质，如高击穿电压、高导热率和高电子饱和速度等，逐渐成为功率器件制备的重要材料。其中，氧化镓的同质外延技术是制备高质量氧化镓基功率器件的关键技术之一。本文将重点研究氧化镓同质外延技术及其在功率器件制备中的应用。

二、氧化镓的基本性质及应用

氧化镓（Ga2O3）是一种宽禁带半导体材料，具有高耐压性、高导热率和高电子饱和速度等特点。这些特性使得氧化镓在功率器件、光电器件和传感器等领域具有广泛的应用前景。特别是在功率器件领域，氧化镓的高耐压性和高电子