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激光微纳加工的原位表征技术研究进展.docx

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激光微纳加工的原位表征技术研究进展

内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2研究范围与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

激光微纳加工技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1激光微纳加工原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.2激光微纳加工设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.3激光微纳加工流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

原位表征技术重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

3.1确保加工质量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.2监控加工过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.3提高加工效率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

原位表征技术分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

4.1光学显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

4.2扫描电子显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.3透射电子显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.4X射线衍射．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

4.5热重分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

4.6其他表征技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

光学显微镜原位表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

5.1光学显微镜在激光微纳加工中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.2光学显微镜表征技术进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

5.3案例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

SEM原位表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

6.1SEM在激光微纳加工中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

6.2SEM表征技术进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

6.3案例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

TEM原位表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

7.1TEM在激光微纳加工中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

7.2TEM表征技术进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

7.3案例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

XRD原位表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

8.1XRD在激光微纳加工中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

8.2XRD表征技术进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

8.3案例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

TGA原位表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

9.1TGA在激光微纳加工中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

9.2TGA表征技术进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

9.3案

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