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WO3气体传感器件的构筑及其气敏机理研究
一、引言
随着科技的不断发展，气体传感器在环境保护、工业生产、医疗健康等领域的应用越来越广泛。其中，WO3气体传感器件因其高灵敏度、快速响应和低成本等优点备受关注。本文旨在研究WO3气体传感器件的构筑方法及其气敏机理，为气体传感器的进一步应用提供理论支持。
二、WO3气体传感器件的构筑
2.1材料选择与制备
WO3气体传感器件的主要材料为氧化钨（WO3）。在制备过程中，需选择高纯度的WO3粉末作为原料，通过溶胶-凝胶法、热分解法等方法制备成薄膜或纳米结构。此外，还需选择适当的基底材料，如硅片、陶瓷等，以便将WO3薄膜固定在基底上。
2.2器件构筑
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