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PET 瓶内镀DLC 薄膜的结构 成分研究.pdf

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    PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分研究

    杨莉，付亚波，陈强*，张跃飞

    北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,大兴，102600

    摘要：本文采用射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）技术，以CH为碳源，Ar为稀释气体，

    22

    在普通PET瓶内制备类金刚石（Diamond-likCarbon

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