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基于微纳结构的石墨烯光电探测器制备与性能研究
一、引言
随着科技的飞速发展，光电探测器在光通信、生物医学、军事侦察等领域的应用日益广泛。石墨烯作为一种新型的二维材料，因其独特的电学、光学和机械性能，在光电探测器领域展现出巨大的应用潜力。本文旨在研究基于微纳结构的石墨烯光电探测器的制备工艺及其性能表现。
二、微纳结构石墨烯光电探测器的制备
1.材料选择与准备
首先，选择高质量的石墨烯材料作为制备光电探测器的基础。通过化学气相沉积法（CVD）或机械剥离法等手段获得大面积、高质量的石墨烯薄膜。同时，还需准备其他必要的材料，如光刻胶、电极材料等。
2.微纳结构的制备
通过光学光刻技术或电子束光刻技
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