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大口径透镜姿态调整机构的支承分布设计.docxVIP

大口径透镜姿态调整机构的支承分布设计.docx

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第18卷第12期

2010年12月

光学精密工程

OpticsandPrecisionEngineering

Vol.18No.12Dec.2010

文章编号1004-924X(2010)12-2624-09

大口径透镜姿态调整机构的支承分布设计

章亚男1,沈丽丽,沈卫星2,陈明仪

(1.上海大学机电工程与自动化学院,上海200072;

2.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)

摘要:为了设计大口径透镜姿态调整机构,研究了三顶三拉调平结构布置方式的调节性能及其对受力变形和光束质量的影响。采用几何方法,得出了三顶三拉结构在任意三角形布置下升高量与调整角度变化的关系,定义了角度调整的相关系数;利用有限元分析软件分析了3类支承点布置情况下调节平板的变形情况。分析结果表明,三顶三拉调整机构具有调整量可计算的特点,当调节平板的尺寸为580mm×570mm×20mm,采用等腰三角形支承点布置方式时,重力引起的最大变形为12.51μm。对采用了等腰三角形三顶三拉结构的透镜姿态调整机构进行了装校调试及打靶实验,结果证实了该布点方式对姿态调整的有效性和调整完成后精度的稳定性。

关键词:透镜;调平机构;调整性能;支承分布

中图分类号:TH703;TH115文献标识码:Adoi:10.3788/OPE2624

Designofsupportdistributionfor

attitude-adjustingmechanismoflargelens

ZHANGYa-nan,SHENLi-li,SHENWci-xing2,CHENMing-yi

(1.SchoolofMechatronicsEngineeringandAutomation,ShanghaiUniversity,Shanghai200072,China;

2.ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics,ChineseAcademyofSciences,Shanghai201800,China)

Abstract:Todesignanattitudeadjustingmechanismforlargelenses,theadjustingcharacteristicsofathree-podadjustingstructureanditseffectontheforceanddeformationwereanalyzed.Onthebasisofthegeometricalmethod,therelationshipbetweenthelengthofcachpodandtheplateanglevaria-tionwasobtainedunderthearbitrarytrianglelayoutof3-podadjustingstructure,andthecorrelationcoefficientwasthusdefined.Furthermore,theFiniteElementMethod(FEM)wasusedtoanalysethedeformationoftheadjustingplatewiththreetypesofsupportlayouts.Theresultsshowthatthead-justingvaluesof3-podmechanismcanbecalculated.Foraplatewiththesizeof580mm×570mm×20mm,themaximumdeformationcausedbygravitycouldbe12.51μmwhiletheisosceletrianglesup-portlayoutisadopted.Finally,theattitud

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