扫描电子显微镜能谱仪实验报告参考.pdfVIP

扫描电子显微镜能谱仪实验报告

实验报告

课程名电镜技术成绩

称

姓名学号实验日2013.3.20

期

实验名扫描电子显微镜能谱仪指导教

称师

一、实验目的与任务

1.学习扫描电子显微镜的原理及结构

2.掌握扫描电子显微镜的样品制备方法

3.运用扫描电子显微镜观察样品微观形态

1/10

扫描电子显微镜能谱仪实验报告

二、实验基本原理

（一）结构

1.镜筒

包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统

2.电子信号收集与处理系统

3.电子信号的显示与记录系统

4.真空系统及电源系统

（二）工作原理

扫描电镜主要用二次电子观察形貌。在扫描电镜中，电子枪发

射出来的电子束，经三个电磁透镜聚焦后，成直径为几个微米

的电子束。末级透镜上部的扫描线圈能使电子束在试样表面做

光栅状扫描。试样在电子束作用下，激发出各种信号，信号的

强度取决于试样表面的形状、受激区域的成分和晶体取向。设

在试样附近的探测器把激发出的电子信号接受下来，经信号处

理放大系统后，输送到显象管栅极以调制显象管亮度。由于显

象管中的电子束和镜筒中的电子束是同步扫描的，显像管上各

点的亮度是由试样上各点激发出的电子信号强度来调制的，即

由试样表面上任一点所收集来的信号强度与显象管屏上相应

点亮度之间是一一对应的。因此，试样各点状态不同，

2/10

扫描电子显微镜能谱仪实验报告

显象管各点相应的亮度也必不同。得到的象一定是试样状态的

反映。放置在试样斜上方的能谱仪是用来收集X射线，借以实

现X射线微区成分分析的。值得强调的是，入射电子束在试样

表面上市逐点扫描的，象是逐点记录的，因此试样各点所激发

出来的各种信号都可选录出来，并可同时在相邻的几个显示器

上显示出来，这给试样综合分析带来极大的方便。

三、实验方法与步骤

（一）样品处理

样品观察前要进行表面导电处理，常用导电处理法包括：真空

镀膜法和离子溅射镀膜法。

本次试验我们采用的是离子溅射镀膜法。即在低真空状态下，在

阴极与阳极两个电极之间加上几百至上千伏的直流电压时，电极之间

会产生辉光放电。在放电的过程中，气体分子被电离成带正电的阳离

子和带负点的电子，并在电场的作用下，阳离子被加速跑向阴极，而

电子被加速跑向阳极。如果阴极用金属作为电极，那么在阳离子冲击

其表面时，就会将其表面的金属粒子打出，这种现象称为溅射。此时

被溅射的金属粒子是中性，即不受电场的作用，而靠重力作用下落。

如果将样品置于下面，被溅射的金属粒子就会落到样品表面，形成一

扫描电子显微镜能谱仪实验报告

层金属膜。

扫描电子显微镜能谱仪实验报告

（二）实验过程

1.开机

（1）打开电镜主机绿色电源开关

（2）打开服务器，进入操作系统界面

（3）启动XT-MICROSCOPESERVER程序，进入主操作界面

（4）执行Homestage

（5）放入样品，抽真空，待真空只是为绿色是达到工作真空。

（6）选择好加速电压和速流后，加上灯丝