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氧化镓雪崩光电探测器的研究进展

目录

氧化镓雪崩光电探测器的研究进展（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

一、内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

二、氧化镓雪崩光电探测器概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

定义与工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

氧化镓材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

雪崩光电探测器特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

三、研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

理论研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.1材料建模与性能分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.2雪崩光电效应的理论研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

实验研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1探测器制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.2性能参数优化研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.3实际应用测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

四、关键技术问题与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

氧化镓材料制备与性能控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

雪崩效应的调控与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

探测器性能稳定性及可靠性问题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

五、应用前景与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

氧化镓雪崩光电探测器在通信领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

在光电对抗领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

其他潜在应用领域及发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

六、总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

氧化镓雪崩光电探测器的研究进展（2）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

1.1氧化镓材料简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

1.2雪崩光电探测器的原理与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

1.3氧化镓雪崩光电探测器的研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

氧化镓雪崩光电探测器的材料制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

2.1氧化镓薄膜的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.1.1化学气相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

2.1.2溶液相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.1.3激光熔覆技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

2.2氧化镓材料的结构特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.2.1晶体结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.2.2电学特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

2.2.3光学特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

氧化镓雪崩光电探测器的器件结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.1器件结构类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

3.1.1