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碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体

编制说明

一、目的和意义（正文采用宋体四号）

晶圆作为半导体产业的核心，晶圆制造技术不断取得突破，引领着电子工业的创新。随着微纳加工技术的飞速发展，晶圆的精度和集成度不断提升，推动了半导体器件的性能提升和成本降低。晶圆作为集成电路的基础载体，其制造工艺的进步不仅提高了生产效率，还为新一代电子产品的推出提供了技术支撑。

随着行业对更小、更快、更高效集成电路的不断追求，制造过程的精确度和技术复杂性也在不断增加，且每个步骤也都离不开高性能、高质量、高精度半导体设备。其中：氧化是将晶圆“置于”高温环境下，通过氧气在晶圆表面的流动形成氧化层，以保护晶圆不受化学杂质影响，避免漏电电流进入电路，预防离子植入过程中的扩散以及防止晶圆刻蚀时滑脱，在晶圆表面形成保护膜。该步骤使用设备为氧化炉，反应腔内零部件主要包含晶舟、底座、衬炉管、内炉管、隔热挡板等。由于操作温度较高，因此，对反应腔内零部件性能的要求也较高。

晶舟是用作晶圆传送及加工的承载工具，应具有集成度高、可靠性高、防静电、耐高温、耐磨损、不易变形、稳定性好、使用寿命长等优势。按照基材不同，可分为石英晶舟、碳化硅陶瓷晶舟等。由于

晶圆氧化温度约在800℃~1300℃之间，且对环境中金属杂质含量要求极为严格，故而要求晶舟等关键零部件不仅要具有优异的热学、力学、化学性能，且必须有极低的金属杂质含量。

碳化硅陶瓷具备密度高、热传导率高、弯曲强度大、弹性模数大、抗腐蚀性强、耐高温等特性，不易产生弯曲应力变形和热应变，能够适应晶圆制造环节的强腐蚀性、超高温的恶劣反应环境，是晶舟的最佳选材。因此，碳化硅陶瓷晶舟成为市场的新兴产品。

碳化硅陶瓷晶舟制品是一种高性能的陶瓷材料制品，主要由高纯度的碳化硅粉体经过成型、烧结等工艺制成。它具有优异的耐高温、耐腐蚀、高强度和良好的热导率等特性，被广泛应用于半导体材料、光伏材料、磁性材料等领域，作为承载、传输和热处理等过程中的关键部件。

碳化硅陶瓷晶舟制品在制备过程中，对原材料的质量要求极高，特别是高纯度的碳化硅粉体。粉体的纯度、杂质元素、粒度分布、堆积密度、颗粒密度等性能直接影响晶舟制品的质量和应用效果。因此，确保碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体的质量稳定性和可靠性至关重要。

我国碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体生产厂商虽多，但技术水平参差不齐，所产高纯碳化硅粉体性能、稳定性差异较大，且与美国、日本及欧洲等发达国家和地区的碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体尚存在较大差距，因而影响了后续碳化硅陶瓷晶舟制品的性能及质量。

针对我国碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体目前尚无国家标准、行业标准、团体标准和地方标准的情况，为进一步推广应用碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体产品，参与国际市场竞争，非常有必要在现有工作的基础上，确定其性能指标以及相应的测试方法，制定碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体团体标准，以尽快摆脱无标生产现状，满足应用需求。这对提高产品质量和制造技术水平，提升产品在国际市场上的竞争力，推动行业以及相关行业的可持续发展具有重要意义，经济价值显著。

二、工作简况（任务来源、编制和协作单位、工作过程）

1、任务来源

根据山东省新材料产业协会文件（鲁新材协字〔2024〕13号）“关于《碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体》团体标准立项的通知”，标准计划编号为LXSDAMA0010－2024，由山东圣诺实业有限公司主要负责起草编制工作。标准归口管理单位为山东省新材料产业协会。

2、编制和协作单位

本标准主要编制单位：山东圣诺实业有限公司，主要协作单位：山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东依莱特硅业有限公司、潍坊新方精细微粉有限公司。

本标准工作组成员：高惠、周强、郝文虎、王明峰、王东、毕见强、马运志、赵雷、石金旺、祁丰才、石威、龚红宇、王伟礼、

孙国勋。

具体工作分工：山东圣诺实业有限公司主要负责标准总体方案制定工作及标准撰写，并与山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东依莱特硅业有限公司、潍坊新方精细微粉有限公司联合进行各项性能指标测试方法的研究确定、性能指标验证以及样品的收集等工作。

3、工作过程

收到山东省新材料产业协会标准立项通知后，山东圣诺实业有限公司联合有关专家成立了《碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体》团体标准制定工作组，研究确定了标准的制定原则、制定方案及制定工作计划。工作组通过查阅国内外相关产品的标准和技术资料，全面调研我国及国际碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体的生产及应用现状，收集国内同行业企业产品样品，进行初步的性能检测分析等工作。在对调研结果进