INOVANCE汇川PU600系列中频电源用户手册-中文.PDFVIP

前言

前言

资料简介

PU600‑T020‑2‑G1是一款20kW×2方波双路输出的等离子电源，可实现5kHz~50kHz范围内频率

调节、占空比调节、脉冲关断占空比调节，具有敏捷的电弧响应性能和稳定的功率输出。

本产品可广泛应用于等离子体增强化学气相沉积镀膜（PECVD）、磁控溅射或反应溅射（PVD）

等技术工艺，尤其适用于光伏电池片钝化层的金属氧化物/化合物薄膜沉积。

本手册介绍中频方波电源的功能特性及使用方法，包括产品选型、安装、现场调试、故障诊断及

日常保养与维护等相关说明及注意事项。

版本变更记录

修订日期发布版本变更内容

修改内容：第12页“1.2.1电气规格”、第14页“1.2.3环境规

格”、第24页“3.3.2安装环境要求”、第33页“4.2电气连接

2024‑12A03

图”、第39页“4.7控制端口的接线”、第49页“5.3.5电弧爆

发”和第99页“9.4监控模块故障”。

2024‑10A02修改内容：更新第52页“部件说明”待机指示灯颜色。

新增内容：新增第49页“5.3.5电弧爆发”。

修改内容：修改“产品规格”、“机械安装”、“电气安

装”、“电弧管理”、“调试与运行”、“故障处

2024‑07A01

理”、“RS485通讯现场常见问题处理”、“通讯点表”以及

更新产品外观相关图示。

细小勘误。

2024‑01A00手册第一次发布。

关于手册获取

本手册不随产品发货，如需获取电子版PDF文件，可以通过以下方式获取：

●汇川技术官网：登录汇川技术官方网站（），“服务与支持‑资料下

载”，有哪些信誉好的足球投注网站关键字并下载。

●掌上汇川App：扫描下方二维码，安装掌上汇川App，在App内有哪些信誉好的足球投注网站获取手册。

保修声明

正常使用情况下，产品发生故障或损坏，汇川技术提供保修期内的保修服务（产品保修期请详见

订货单）。超过保修期，将收取维修费用。

保修期内，以下情况造成的产品损坏，将收取维修费用。

‑1‑

前言

●不按手册中的规定操作本产品，造成的产品损坏。

●火灾、水灾、电压异常，造成的产品损坏。

●将本产品用于非正常功能，造成的产品损坏。

●超出产品规定的使用范围，造成的产品损坏。

●不可抗力（自然灾害、地震、雷击）因素引起的产品二次损坏。

有关服务费用按照厂家统一标准计算，如有契约，以契约优先的原则处理。

详细保修说明请参见《产品保修卡》。

‑2‑

目录

目录

前言1

安全注意事项7

1产品信息11

1.1型号与铭牌说明11

1.2产品规格12

1.2.1电气规格12

1.2.2功能规格12

1.2.3环境规格14

1.3部