INOVANCE汇川PS1200系列中频正弦波电源用户手册-中文.PDFVIP

前言

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资料简介

PS1200‑T015是40kHz中频正弦波单路输出电源，主要服务于等离子体真空镀膜装备。

本产品具有宽范围、低谐波、高质量的正弦波电压以及稳定、可扩容的功率输出特性，能

够为真空镀膜腔体内部创造极为稳定的等离子体氛围，进而提升镀膜工艺过程一致性，助

力实现镀膜产品更优品质、更高良率、更优产量。

本产品可广泛应用于日用品装饰镀膜、电子玻璃与平板显示、工具硬质涂层、精密光学与

功能镜片、光伏与泛半导体、表面清洗活化等真空镀膜装备及其他等离子体应用领域。

本手册介绍中频正弦波电源的功能特性及使用方法，包括产品选型、安装、现场调试、故

障诊断及日常保养与维护等相关说明及注意事项。

版本变更记录

修订日期发布版本变更内容

修改内容：

2024‑10A02更新第67页“部件说明”指示灯颜色、更新手册产品

外观颜色。

修改内容：

●更新第12页“1.1型号与铭牌说明”。

●更新第13页“1.2.1电气规格”。

●更新第22页“2.1安全须知”。

●更新第23页“2.3.3冷却要求”。

●更新第25页“2.3.7布线建议”。

2024‑08A01●更新第39页“2.6.1电气连接图”。

●更新第54页“3.4功能模式”。

●更新第55页“3.5档位选择”。

●更新第67页“部件说明”。

●更新第69页“4.2.1应用场景分类概述”。

●更新第118页“9.7协议内容”。

细小勘误。

2023‑12A00手册第一次发布。

关于手册获取

本手册不随产品发货，如需获取电子版PDF文件，可以通过以下方式获取：

●汇川技术官网：登录汇川技术官方网站（），“服务与支持‑资料

下载”，有哪些信誉好的足球投注网站关键字并下载。

●资料二维码：使用手机扫描产品机身二维码，获取产品配套手册。

●掌上汇川App：扫描下方二维码，安装掌上汇川App，在App内有哪些信誉好的足球投注网站获取手册。

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保修声明

正常使用情况下，产品发生故障或损坏，汇川技术提供保修期内的保修服务（产品保修期

请详见订货单）。超过保修期，将收取维修费用。

保修期内，以下情况造成的产品损坏，将收取维修费用。

●不按手册中的规定操作本产品，造成的产品损坏。

●火灾、水灾、电压异常，造成的产品损坏。

●将本产品用于非正常功能，造成的产品损坏。

●超出产品规定的使用范围，造成的产品损坏。

●不可抗力（自然灾害、地震、雷击）因素引起的产品二次损坏。

有关服务费用按照厂家统一标准计算，如有契约，以契约优先的原则处理。

详细保修说明请参见《产品保修卡》。

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