半导体设备用全氟醚橡胶密封制品编制说明.docxVIP

《半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》编制说明

一、工作简况

（一）任务来源

根据2024年全国标准化工作要点，大力推动实施标准化战略，持续深化标准化工作改革，加强标准体系建设，提升引领高质量发展的能力。依据《中华人民共和国标准化法》，以及《团体标准管理规定》相关规定，中国中小商业企业协会决定立项并联合江苏多肯新材料有限公司等相关单位共同制定《半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》团体标准。于2025年1月24日，中国中小商业企业协会发布了《半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》团体标准立项通知，

正式立项。为响应市场需求，需要制定完善的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品产品标准，对产品质量进行管理，满足行业发展需

要。

（二）编制背景及目的

半导体设备是在半导体器件的制造过程中所使用的各种设备和工具的总称。这些设备覆盖了从硅片生产、晶圆制造到封装测试等多个环节，具体来说，可以分为以下几类：

1)硅片生产过程设备：用于制造硅片的设备；

2)晶圆制造过程设备：包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等晶圆制造环节的核心设备；

3)封测过程设备：用于集成电路的封装和测试。

密封件是用于半导体制造设备中的关键组件，主要用于防止气体、液体和粉尘的泄漏。密封件在半导体设备中有以下重要应用：

1)保护元件免受外部环境污染：防止细小颗粒、灰尘、湿气以及有害气体等污染物进入器件内部，保持器件的洁净环境；

2)提供良好的温度控制和热管理：密封件通过提供良好的隔

热性能和热传导特性，帮助稳定和控制器件的工作温度；

3)维持真空和气体环境稳定：在需要真空或特定气氛的半导体工艺步骤中，密封件保持真空度或气体环境，防止气体泄漏或外界气体进入；

4)实现机械支撑和固定：密封件用于提供机械支撑和固定元件，确保它们在运行过程中不会发生位移或损坏；

5)抵御化学品腐蚀和耐久性：半导体制造过程中使用的化学品可能对器件和设备造成腐蚀，密封件需要具备抵御这些化学品的能力；

6)提高产品质量和可靠性：合适的密封件可以减少故障率，延长产品寿命，并提高制造过程的一致性和稳定性。

全氟醚橡胶由于分子链上不含氢原子，表现出极强的化学惰

性，能够耐受包括强酸、强碱、有机溶剂等在内的多种化学介质的腐蚀，具备优异的耐化学性，同时因其卓越的耐高温、耐低温性

能，可以在极端的温度下保持其弹性和密封性。全氟醚橡胶密封件还具有极好的耐天候老化性能、耐臭氧性能、气密性，被广泛应用于化工、半导体制造、食品和制药等行业中。

在标准制定过程中，坚持以国内产业发展的动向为研究基础，对半导体设备用全氟醚橡胶密封制品提出规范化的要求，并结合实际情况，制定切实可行的标准。

《半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》团体标准的发布实施，有助于促进全氟醚橡胶密封制品的研发和创新，适应半导体行业不断发展的需求，推动技术进步。

（三）编制过程

1、项目立项阶段

目前，我国无半导体设备用全氟醚橡胶密封制品产品标准，相关标准主要有JB/T10706—2022《机械密封用氟塑料全包覆橡胶O形圈》、HG/T2021—2014《耐高温润滑油O形橡胶密封圈》、HG/T

2887—2018《变压器类产品用橡胶密封制品》，当中均涉及到氟橡胶密封件的技术要求，与全氟醚橡胶材料性能有显著区别，无法体现半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的特点和先进性。

为了规范半导体设备用全氟醚橡胶密封制品，江苏多肯新材料有限公司向中国中小商业企业协会提交了《半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》团体标准的制订申请。

《半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》标准的编制实施有助于规范产品性能和质量，维持半导体生产过程的精确性和效率，推动行业健康发展。

2、理论研究阶段

标准起草组成立伊始就全氟醚橡胶密封制品进行了深入的调查研究，同时广泛搜集相关标准和国外技术资料，进行了大量的研究分析、资料查证工作，确定了标准的制定原则，结合现有实际应用经验，为标准的起草奠定了基础。

标准起草组进一步研究了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的相关要求，为标准的具体起草指明方向。

3、标准起草阶段

在理论研究基础上，起草组在标准编制过程中充分借鉴已有的理论研究和实践成果，经过数次修改，形成了《半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》标准草案稿。形成标准草案稿之后，起草组召开了多次专家研讨会，从标准框架、标准起草等角度广泛征求多方意见，从理论完善和实践应用方面提升标准的适用性和实用性。经过

理论研究和方法验证，明确和规范技术要求，起草组形成了《半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》（征求意见稿）。

4、征求意见阶段

于2025年2月，标准由中国中小商