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第23卷第8期2015年8月
光学精密工程
OpticsandPrecisionEngineering
Vol.23No.8Aug.2015
文章编号1004-924X(2015)08-2143-06
高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化
徐明飞1,2*,黄玮
(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春130033;
2.中国科学院大学，北京100049)
摘要：考虑高数值孔径(NA)投影光刻物镜视场较大、波像差分布不均匀，本文提出了一种自动优化设计方法来降低设计过程中出现的全视场最大波像差。该方法通过将一个自动调节采样视场权重的循环程序附加在光刻物镜的局部优化程序之外来自动平衡全视场的波像差，进而降低全视场的最大波像差。设计实例证明，运用该方法后光刻物镜全视场波像差的均匀性显著提高，最大波像差降低为原来的63%。该方法在光学设计软件CodeV中有良好的应用效果，应用该方法不但能节省光刻物镜设计者的时间，而且会降低设计对设计者设计经验的依赖性。同时，该方法也可推广应用在其他对成像质量要求较高的光学系统设计中。
关键词：投影物镜；光刻物镜；波像差；光学设计；自动优化
中图分类号：TN305.7文献标识码：Adoi:10.3788/OPE2143
Automaticbalancingofwavefrontaberrationsinhigh-numericalaperturelithographiclenses
XUMing-fei1.2*,HUANGWei1
(1.StateKeyLaboratoryofAppliedOptics,ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsand
Physics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China;
2.UniversityofChineseAcademyofSciences,Beijing100049,China)
*Correspondingauthor,E-mail:stone870914@163.com
Abstract:Ashigh-numericalaperture(NA)lithographiclenseshavelargerfieldsofview(FOVs)andnonuniformwavefrontaberrationdistributions,thispaperproposesanautomaticoptimizeddesignmethodtoreducethethelargestwavefrontaberrationofallFOVsindesignprocessing.Themethodaddsanexternalloopoptimizationprocedurewhichcanautomaticallyadjustsamplingweightintotheocaloptimizationprocedureofalithographiclenstobalancewavefrontaberrationsandtoreducethelargestwavefrontaberrationautomatically.Byusingtheproposedmethod,theuniformityofwave-frontaberrationsgetsbetterandthelargestwavefrontaberrationhasbeenreducedto63%ofthepri-maryvalue.Itshowsthatthemethodhasabetterappl
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