DB51T3207-2024集成电路测试用微波探针应用规范.pdf

ICS17.220

CCSL86

DB51

四川省地方标准

DB51/T3207—2024

集成电路测试用微波探针应用规范

2024-12-03发布2024-12-29实施

四川省市场监督管理局发布

DB51/T3207—2024

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4微波探针分类1

5应用要求2

6故障判定4

7同轴探针推荐指数4

8波导探针推荐指数5

9维护需求5

I

DB51/T3207—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由四川省经济和信息化厅提出、归口、解释并组织实施。

本文件起草单位：中国电子科技集团公司第九研究所。

本文件主要起草人：刘福涵、冯楠轩、王慧丽、张芦、高春燕、丁敬垒、李晓宇、张志红、高晓琴、

肖佳琪。

II

DB51/T3207—2024

集成电路测试用微波探针应用规范

1范围

本文件规定了集成电路测试用微波探针（以下简称“探针”）的分类、应用要求、故障判定、推荐

指数、维护需求等。

本文件适用于微波集成电路中测试微波探针的选用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T9178集成电路术语

GB/T11313射频连接器

GB/T11449波导法兰盘

GB/T12842模集成电路和混合模集成电路术语

SJ/T11587电子产品防静电包装技术要求

3术语和定义

GB/T9178、GB/T12842界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

扎痕mark

探针良好接触焊盘，完成测试后焊盘上留下的痕迹。

单探针/多探针singleprobe/multiprobe

用于单通道测量的为单探针，用于多通道测量的为多探针。

4微波探针分类

同轴探针系列

4.1.1总则

同轴探针连接器接口需符合GB/T11313或相关详细规范规定，频率小于等于110GHz。

本文件中，频率在18GHz时，耐受功率小于等于10W的同轴探针为小功率同轴探针。

本文件中，频率18GHz时，耐受功率大于10W的同轴探针为高功率同轴探针。

4.1.2小功率同轴探针系列

4.1.2.1标准扎痕同轴探针系列

1

DB51/T3207—2024

针尖宽度40μm，扎痕面积40μm×40