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内容目录
1、国产半导体设备龙头,业绩稳健增长5
1.1设备平台化布局,产品覆盖全面5
1.2高管产业经验丰富,股权激励彰显长期发展信心6
2、半导体设备市场空间广阔,国产替代加速渗透11
2.1薄膜沉积设备:芯片制造三大核心设备之一13
2.2刻蚀设备:国内厂商产品覆盖度稳步提升17
3、平台化布局持续推进,产品矩阵日益丰富22
3.1ICP领域竞争优势明确,拓展CCP领域布局22
3.2薄膜沉积设备产品矩阵日益完善,平台型龙头地位彰显24
3.3产业链协同布局,设备业务版图逐步完善26
3.3.1半导体设备品类及应用领域拓宽26
3.1.2真空镀膜设备再突破,打入氢能燃料电池市场28
3.1.3打造半导体零部件平台,产业链协同发展30
4、盈利预测及投资建议33
5、风险提示35
图表目录
图表1:公司发展历程5
图表2:公司股权结构6
图表3:公司部分高管履历6
图表4:公司股权激励行权业绩考核目标7
图表5:公司营收情况8
图表6:公司归母净利润情况8
图表7:公司费率情况8
图表8:公司毛利率及归母净利率情况8
图表9:公司分产品营收(亿元)9
图表10:公司分产品毛利率9
图表11:公司研发费用情况(亿元)9
图表12:公司合同负债及存货情况(亿元)10
图表13:全球半导体设备市场规模及同比(亿美元)11
图表14:分地区半导体设备销售额(十亿美元)11
图表15:全球半导体设备细分11
图表16:2013年到2023年半导体芯片前道设备年均增速11
图表17:全球半导体晶圆产能(等效8英寸片,月产能)12
图表18:半导体设备国产化率情况13
图表19:ALD、CVD、PVD成膜效果示意图14
图表20:薄膜沉积设备分类14
图表21:薄膜沉积设备细分占比15
图表22:工艺升级带动薄膜沉积工序数提升15
图表23:ALD在多重曝光中的应用15
图表24:NAND发展趋势16
图表25:2023年薄膜沉积设备细分格局16
图表26:刻蚀过程重点:移除不需要材料17
图表27:刻蚀类别18
图表28:按作用机理分各类刻蚀特征18
图表29:按刻蚀材料分各类刻蚀特征18
图表30:2022年干法刻蚀细分占比(百万美元)19
图表31:电感耦合等离子体刻蚀反应腔19
图表32:ICP等离子刻蚀机设备结构示意图19
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