阿尔卡特真空泵1.docVIP

阿尔卡特真空泵

功能键：

CONTROL写入功能键：当要写入内容时，按下此键屏幕出现“*”时方可写入内容，否那么只能读出不能写入

CONTROL

SET返回或退出键：当要退出某个程序界面时，按下此键即可退出

SET

选择翻页或数值增减键：在某个界面进行选择时，按此键可进行上下选择功能键；在要对数值进行修改时按此键即可增减数值

选择翻页或数值增减键：在某个界面进行选择时，按此键可进行上下选择功能键；在要对数值进行修改时按此键即可增减数值

确认和进入键：中选择某一个功能界面时，按下此键即可进入此功能界面

确认和进入键：中选择某一个功能界面时，按下此键即可进入此功能界面

ENTER

ENTER

罗茨泵开关ROOTS吹扫用N2开关键PURGEPURGE停止键：按下此键设备停止运行STOP运行键：按下此键即可开机运行START

罗茨泵开关

ROOTS

吹扫用N2开关键

PURGE

PURGE

停止键：按下此键设备停止运行

STOP

运行键：按下此键即可开机运行

START

尾气排放开关AUX

尾气排放开关

AUX

考前须知：

STANDBY模式下必须是ENABLED而不是DISABLED，否那么温度上不去，即温度在30---500C。而不是正常值范围内，当出现这种情况，先把泵关掉按“+、—”键进入按回车键修改。

端盖当出现“ADP报警〔038〕”时，把机台前盖取下，将泵前面的两端盖取下，用手转动转子即可再运行，否那么会将泵损坏。

端盖

氮气的流量一般是在40—70L/min，如果是120—140L/min，说明流量计可能出现问题，这时泵仍可以使用，当停机后可以检查流量计。

N2流量计

N2流量计

机台的报警温度在1200C，报警功率在3500W，停机功率在5000W。当流量计浮子没起来时，说明冷却水管被堵塞，这时将水管快接头用压缩空气吹入管道，观察浮子是否被吹起来，正常情况下浮子应该在上端。

水管快接头流量计浮漂

水管快接头

流量计浮漂

设备原理图：

原理图一气路原理图

原理图一

气路原理图

原理图二电路图

原理图二

电路图

原理图三冷却水原理图

原理图三

冷却水原理图