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激光干涉测长仪.pptVIP

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激光干预测长仪;主要内容;激光干预测长仪的组成与根本原理;激光干预测位移大小;激光干预测长仪原理图;激光干预测位移大小的误差情况;激光干预测位移的方向;为到达这些目的,干预仪必须有两个相位差为90度的电信号输出,一个按光程的正弦变化,一个按光程的余弦变化,所以移相器也是干预仪系统的重要组成局部。常用的移相法有机械移相、翼型板移相和偏振法移相。移相器是能够对波的相位进行调整的一种装置,利用A/D、D/A转换实现了数字移相,它是一种不连续的移相技术,但特点是移相精度高。

干预条纹计数时,通过移相获得两路相差π/2的干预条纹的光强信号。该信号经放大、整形、细分及倒向等处理,可以获得四个相位依次相差π/2的脉冲信号,假设将脉冲排列的相位顺序在反向镜正向移动时定为1、2、3、4,反方向移动时定为1、4、3、2。

;后续的逻辑电路便可以根据脉冲1后面的相位是2还是4判断脉冲的信号,并送入加脉冲门或减脉冲门,便实现了判向的目的。同时经判向电路后,将一个周期的干预信号变成四个脉冲输出信号。实现干预条纹的四倍频计数,相应的测量方程变为:

?;

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