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摘要I
AbstractIII
第一章绪论1
1.1研究背景及意义1
1.2国内外研究历史及现状2
1.2.1SAW压力器件的发展历程2
1.2.2国内外技术对比7
1.3高灵敏度SAW器件开发所面临的挑战9
1.4课题主要内容10
第二章声表面波传感技术理论13
2.1固体中的声波传输理论13
2
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