有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共11页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
第20卷第6期2012年6月
光学精密工程
OpticsandPrecisionEngineering
Vol.20No.6Jun.2012
文章编号1004-924X(2012)06-1182-06
光学元件表面的数字全息在线检测
王璠璟*,肖文，潘锋，丛琳，李建毅
(北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京100191)
摘要：针对光学元件表面质量在线检测的特点，设计了基于数字全息的三维再现检测系统。该系统采用离轴光路，避开了被测元件的光轴，在数字全息再现过程中应用倾斜相差补偿技术去除了由于离轴检测引入的倾斜相位畸变。在检测过程中，利用围绕光轴旋转被测元件的方法来改变入射照明光方向矢量和相应的观察方向，实现了多照明矢量合成孔径技术的应用，扩展了系统的检测距离，提高了系统分辨率。同时，多照明角度下检测数据的叠加，还有效地抑制了检测过程中出现的散斑噪声对结果准确度的影响。通过对分辨率板、高精度玻璃反射镜的检测实验，验证了该系统在光学元件表面检测中的作用。当记录距离为40cm时，其分辨率能够达到10μm,满足光学元件表面检测的需要。
关键词：数字全息；光学元件；离轴检测；相位补偿；合成孔径
中图分类号：0438.1文献标识码：Adoi:10.3788/OPE1182
Digitalholographicon-linedetectionofopticcomponentsurface
WANGFan-jing*,XIAOWen,PANFeng,CONGLin,LIJian-yi
(SchoolofInstrumentScienceandOpto-ElectronicsEngineering,
BeihangUniversity,Beijing100191,China)
*Correspondingauthor,E-mail:wangfj@aspe.buaa.edu.cn
Abstract:Anon-line3Ddetectionsystemforopticcomponentsurfacemeasurementwasdesignedbasedondigitalholography.Anoff-axisstructurewaschosentoevadetheopticalaxisofatestobjectandthetiltphasecompensationwasusedtoeliminatethetiltedphasedistortioncausedbyanoff-axisopticpath.Inthissystem,theilluminatingangleandviewdirectioncouldbechangedbyrotatingtheobjectaroundtheopticalaxis,bywhichtherecordingdistancewasincreasedandtheresolutionwasimprovedusingsyntheticaperturetechnique.Meanwhile,thesuperpositionofreconstructionimagescoulddecreasetheeffectofspecklenoiseonthereconstructeddistribution.Theproposedmethodisexperimentallyvalidatedbyaresolutiontesttargetandanopticmirror,anditshowsthatthe2Dreso-lutionofthesystemhasbeen10μmatarecordingdistanceof40cmandthesystemnoisealsobesup-pressedeffectively.
Keywords:digitalholography;opticcomponent;off-axisdetect
文档评论（0）