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洁净室运作介绍报告大纲洁净室定义与历史演练洁净室的标准规范与分类洁净室系统设计模式洁净室构装设备与材料洁净室的测试与验收洁净室的运转管理CLEANROOM定义洁净室也称洁净室、CLEANROOM，定义为：Definedby209E:Aroominwhichtheconcentrationofairborneparticlesiscontrolledspecifiedlimits。定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振动，噪音，照明，及微生物等控制在一定值内的空间称之。按照控制对象区分：以浮游微粒子为对象的工业洁净室（IndustrialCleanRoom）以浮游微生物为对象的生化洁净室（BiologicalCleanRoom）1958美国发展太空科技开始研究洁净室011961完成美国空军洁净室相关规格011963完成美国联邦洁净室规格FederalStandardNo.20901洁净室历史演进美国联邦FEDSTD2091ISO/TC2092洁净室国际标准规范洁净室标准FEDSTD209E洁净室标准ISO/TC209层流模式乱流模式混合模式洁净室的分类层流型系统空气气流之流动成一均匀之直线空气经由覆盖率100%HEPA进入室内由高架地板回风适用于class1~100乱流型系统213空气由空调箱经风管与洁净室内之HEPA进入洁净室并由高架地板或侧面回风此型适用于Class1K~100K并用型系统高架地板回风区C-100C-10KC-10KC/R各方式之比较控制微粒子数量至一定标准01防止外界微尘粒子进入02室内产生的微尘粒子与有害气体迅速的排出室外03维持室内温度、湿度和压力04防止静电的干扰05系统稳定与节约能源考量06C/R系统基本要求C/R洁净设施中央空调系统（AIRCORTROLSYSTEM）FFU（FANFILTERUNIT）FMU（FANMODULEUNIT）空气浴尘机（AIRSHOWER、PASSPAX）洗手烘干机（HANDWASHERDRYERMACHINE）缓冲区（BUFFERROOM）黏着脚垫（STICKYMAT）高效滤网（HighEfficientyParticulateAir）泄压阀（Pressuredamper）真空吸尘器（VACUUMCLEANER）无尘衣服（DUSTFREEGARMENTS）等等
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