《显微分析》第5章电子探针X射线显微分析.pptx

显微分析;§5电子探针分析;1.电子探针分析简介;

;Energydispersivespectrometer(EDS)

UsedforTEMandSEM

Mostcommonlyused

Resolutionisnotveryhigh,butfast

Wavelengthdispersivespectrometer(WDS)

UsedonlyforSEM

Resolutionishigh,butslow;;;2.能量分散谱仪（EDS）;能谱仪工作原理;能谱仪优点：;能谱仪缺点：;ExampleofthespectrumofEDS;工作原理：

利用分光晶体，将样品中被激发的不同波长的特征Ｘ射线分散，然后各X射线将在各自满足布拉格方程的2θ方向上分别被检测器检测。

X射线探测器每接受一个X光子输出一个电脉冲信号，脉冲信号输入计数仪，提供在仪表上显示计数率读数。

;弯曲晶体的聚焦方式：Johann式和Johansson式;反射式谱仪的两种结构形式：回转式和直进式;波谱图;波长分辨率高可将VKβ(0.228434nm),CrKα1(0.228962nm)和CrKα2(0.229351nm)3根谱线清晰的分开，能量分辨率为2-30eV

分析元素范围：4号(Be)～92号(U)。

分析速度：~30min(serialdetection)

X射线利用率低

X射线强度损失大，经晶体衍射后，强度仅为入射光的20%

;;;分辨率;;EPMA:;

样品应导电，若样品不导电，需先导电处理（表面喷金或喷碳）

涂层尽量薄；涂层材料原子量越低越好，最好不含有样品中的待测元素；

对WDS分析，材料表面需先进行抛光处理；而EDS分析，不需要对表面进行抛光处理;6.电子探针工作方式;定点分析;;线扫描分析;Linescan;;电子探针元素面扫描分析是将波长色散谱仪固定在选定元素特征X射线的检测位置上(选定L值)，电子束在样品上作面扫描，调制荧光屏亮度，即可得到该元素面分布图像，它提供了元素浓度的面分布均匀或不均匀的信息，并可将元素面分布特点与微观形貌结合起来分析研究。;Elementmapping;化妆粉底粉末的元素分布图;7.X射线光谱分析及应用;定性分析;定量分析;;比较波溥仪和能谱仪在进行化学成分分析是的优缺点

直进式波谱仪和回转式波谱仪各有什么优特点?

要分析钢中碳化物成分和基体中碳含量，应该选用哪种电子探针仪？为什么