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2025年化合物半导体的外延生长设备合作协议书.docx

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    化合物半导体的外延生长设备合作协议书

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    化合物半导体的外延生长设备合作协议书

    目录

    TOC\h\z14988概论 3

    31142一、工艺先进性 3

    26710(一)、化合物半导体的外延生长设备项目建设期的原辅材料保障 3

    14848(二)、化合物半导体的外延生长设备项目运营期的原辅材料采购与管理 4

    18115(三)、技术管理的独特特色 5

    19045(四)、化合物半导体的外延生长设备项目工艺技术设计方案 7

    29743(五)、设备选型的智能化方案 8

    362二、化合物半导体的外延生长设备项目概论 9

    32735(一)、创

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