光学玻璃的激光微结构化砂轮精密磨削.docx

下载文档

0
0
约1.46万字
约 15页
2025-02-19 发布于山东
举报
版权申诉
保障服务

光学玻璃的激光微结构化砂轮精密磨削.docx

1、本文档共15页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

第22卷第10期2014年10月

光学精密工程

OpticsandPrecisionEngineering

Vol.22No.10Oct.2014

文章编号1004-924X(2014)10-2659-08

光学玻璃的激光微结构化砂轮精密磨削

郭兵1,2*,赵清亮1,陈冰1,于欣2

(1.哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所，哈尔滨黑龙江150001;2.哈尔滨工业大学航天学院光电子技术研究所，哈尔滨黑龙江150080)

摘要：为了降低大磨粒金刚石砂轮磨削光学玻璃时的亚表层损伤，利用纳秒脉冲激光对金刚石砂轮进行了表面微结构化加工，并采用该砂轮研究了光学玻璃的精密磨削加工。首先，计算了金刚石磨粒在纳秒脉冲激光辐射下的烧蚀阈值和激光束腰半径；然后，分析了纳秒脉冲激光在金刚石磨粒上加工的微结构形貌以及微结构化过程中的热损伤；最后，采用微结构化大磨粒金刚石砂轮进行光学玻璃的磨削实验，并分析了亚表层的损伤情况。实验结果表明：金刚石磨粒在纳秒脉冲激光辐射下的烧蚀阈值为0.89J/cm,激光束腰半径为17.16μm。在粒度为150μm的大磨粒电镀金刚石砂轮上可以实现结构尺寸为20μm的微结构表面加工。与传统金刚石砂轮相比，微结构化砂轮磨削后的光学玻璃亚表层损伤深度降低了40%,达到了降低光学玻璃磨削亚表层损伤的目的。

关键词：光学玻璃；微结构化；金刚石砂轮；纳秒激光；精密磨削；亚表层损伤中图分类号：TQ171.68文献标识码：Adoi:10.3788/OPE2659

Precisiongrindingofopticalglassesbylasermicro-structuredgrindingwheels

GUOBing1,2,ZHAOQing-liang,CHENbing1,YUXin2

(1.InstituteofPrecisionEngineering,SchoolofMechatronicsEngineering,

HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001,China;

2.InstituteofOpto-Electronics,SchoolofAstronautics,

HarbinInstituteofTechnology,Harbin150080,China)

*Correspondingauthor,E-mail:guobing@hit.edu.cn

Abstract:Toreducethesubsurfacedamageofopticalglassesinducedbyacoarse-graineddiamondwheel,thediamondwheelsurfacewasprocessedinamicro-structuringmodebyananosecondpulselaser.Thegrindingwheelwasusedtoinvestigatethegrindingperformanceofopticalglasses.First,theablationthresholdofdiamondgritsunderanslaserpulseandthelaserbeamwaistradiuswerecal-culated.Andthen,theablationmorphologicalcharacteristicswereexplored,andthethermaldamageofdiamondgritswasanalyzed.Finally,theopticalglassgrindingexperimentswereperformedandthesubsurfacedamagewasanalyzed.Theexperimentalresultsshowthatthe