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JEOLJSM6360LA扫描电镜独立操作培训讲义

培训提纲

1、了解JEOLJSM6360LA扫描电镜的基本构造

2、了解主要性能指标

3、掌握操作步骤并进行图像观察

4、熟悉样品的制备知识

5、熟悉仪器注意事项及交接事项

一、仪器的基本构造

1、电子枪系统

2、磁透镜

3、样品室:①样品座②样品室拉门③X、Y、Z控制轴④样品倾斜及

转动控制轴

4、真空系统：①机械泵②扩散泵

5、电子学系统：①电源系统②信号电子成像系统

6、显示部分：①显像管②照相机

二、仪器的主要性能指标

1、装置型号:JSM-6360LA，带低真空功能

2、ED装配JED(JED2300)

3、高真空模式分辨率:3.0nm@30KVWD=8mm

4、低真空模式分辨率:4.0nm@30KVWD=5mm

5、放大率:x5至x300000

6、低真空度:1to270Pa，高、低真空切换

7、加速电压:0.5kV至30kV，束流1pA—1uA。

8、试样中心式,x:80mm,y:40,z:43mm,倾斜-10～+90度,旋转360度,

最大试样尺寸:152mm,试样容许:48mm。计算机控制5轴(任选件)。

9、PC/OS功能:IBMPC/AT互换型机、Windows2000XP,用户登录,菜单,

自动聚焦,自动非点补正,自动亮度对比,自动枪。

10、排气方式:高真空+低真空排气方式。

11、真空系统:马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱。

12、分辨率脉冲处理器:只有分析时注入氮气,高性能x射线数字处理器。

三、操作步骤

1、开机及样品准备

⑴、先打开稳压电源，再打开循环水开关。注意检查循环水系统,温

度显示约18-22℃,为正常范围。

⑵、打开电镜控制台电源开关，再打开电脑电源。

⑶、电脑屏幕显示进入WINDOWS后，再用鼠标双击电镜扫描软件

图标，进入操作程序界面。

⑷、开机后仪器要进行抽真空，此时可以进行样品的制备工作。

⑸、等待程序中【HTREADY】按键变亮后3分钟，点击程序中的

【SAMPLE】按键。系统弹出对话框，点击该对话框中的【VENT】

按键，等待仪器控制台上VENT灯停止闪烁，就可打开样品室，放

入样品并关闭样品室。

⑹、点击对话框中的【EVAC】按键，等待仪器控制台上EVAC灯停

止闪烁，程序中【HTREADY】按键变亮后就可以进行图像调节。

2、图像调节过程

⑴、点击【STAGE】按键，确定样品台规格，定好扫描位置。

⑵、点击【HTREADY】按键，打开灯丝，此时按键变为【HTON】。

根据所需放大倍数，使用【－】、【＋】按键。调节好聚焦、像散、亮

度、对比度，最后完成拍照、保存图像。

3、在拍摄图片过程中，【SCAN2】状态适合找位置，【SCAN1】状态适

合图像聚焦，【SCAN3】状态适合调节图像的亮度对比度，【SCAN4】状

态适合存储图片。

2

4、拷贝图象

为预防计算机病毒入侵，拷贝电镜图片时须用新光盘或电镜室专用

CD-R光盘拷贝图片，严禁采用U盘或软盘拷贝。

5、关机

⑴、先关高压，放气后，取出样品后，重抽真空，等待【HTREADY】

按键变亮，然后点击【EXIT】按键退出操作程序；关闭WINDOWS

系统，关闭电镜控制台电源；等15分钟后关闭稳压源和循环水系统

电源。

⑵、在记录本上记录使用情况。

四、试样的制备

1、有关样品要求：需用电镜观测的样品必须干燥、无挥发性、无磁性、

不易燃易爆、能与样品台牢固粘结（块状试样的下底部需平整，利于粘

结），尽量节约导电胶的用量。不导电样品需做镀膜处理。

2、金属试块样品：样品的尺寸有限制，大小不能超过样品座。当样品有

污染时，要进行清洗，清洗方法一般用用丙酮酒精溶剂清洗或用超声波

清洗，使样品平表面的油脂、灰尘等污染去掉。清洗好的样品干燥后，