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湿法刻蚀制备柔性硅微纳结构及其可穿戴应变传感器研究.pdf

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    第一章绪论1

    1.1可穿戴传感器综述1

    1.1.1可穿戴传感器的发展历史1

    1.1.2可穿戴传感器的分类4

    1.1.3可穿戴传感器的应用领域11

    1.2用于可穿戴传感器的柔性电子材料综述14

    1.2.1有机柔性电子材料14

    1.2.2金属基柔性电子材料15

    1.2.3金属氧化物半导体柔性电子材料17

    1.2.4

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