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硅微陀螺智能标定与性能优化技术研究摘要
硅微陀螺智能标定与性能优化技术研究
摘要
MEMS谐振陀螺是一种基于科氏效应的角速率或角度测量传感器。随着MEMS
加工工艺的快速发展，MEMS陀螺的测量精度不断提高，成本、体积也不断减小，
已经广泛应用于惯性导航、姿态控制等领域。近年来，有关MEMS高性能多边形轴
对称陀螺的系列研究
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