聚酰亚胺薄膜旋涂工艺及其抗电击穿性能.docx

下载文档

0
0
约1.21万字
约 8页
2025-02-20 发布于山东
举报
版权申诉
保障服务

聚酰亚胺薄膜旋涂工艺及其抗电击穿性能.docx

1、本文档共8页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

4传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies)2019年第38卷第4期

多殠多殠多多多多多殠

多殠

研究与探讨殠多多多多多

DOI:10.13873/J.1000—9787(2019)04—0004—04

聚酰亚胺薄膜旋涂工艺及其抗电击穿性能*

梁军生1,2,杨金鹤1,张小辉1,胡亚明1,王大志2

(1.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连116024;2.大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室，辽宁大连116024)

摘要：采用旋涂法制备了高质量的聚酰亚胺薄膜，研究了薄膜厚度与旋涂转速之间的关系；对不同厚度的旋涂薄膜进行了电击穿实验，探讨了膜厚对击穿性能的影响。结果表明：聚酰亚胺薄膜的厚度与旋转速

度平方根的倒数(ω-1/2)呈线性正相关，通过控制转速可获得不同膜厚；薄膜越厚，击穿电压越高，但其平

均击穿强度越低。在280℃的亚胺化条件下，旋涂薄膜的最高击穿电压为2370V,最大击穿场强为286.33kV/mm,可满足大多数微系统对绝缘性能的要求。

关键词：聚酰亚胺；薄膜；旋涂；电击穿

中图分类号：TM211文献标识码：A文章编号：1000—9787(2019)04—0004—04

Processofspin-coatingofpolyimidethin-filmandits

*characteristicsofresistancetoelectricbreakdown

LIANGJun-sheng1,2,YANGJin-he1,ZHANGXiao-hui1,HUYa-ming1,WANGDa-zhi2(1.KeyLaboratoryforPrecisionandNon-traditionalMachiningTechnologyof

theMinistryofEducation,DalianUniversityofTechnology,Dalian116024,China;

2.KeyLaboratoryforMicro/NanoTechnologyandSystemofLiaoningProvince,

DalianUniversityofTechnology,Dalian116024,China)

Abstract：High-qualitypolyimidethin-filmisfabricatedbyspin-coating,andtherelationshipbetweenfilmthicknessandrotationspeedisstudied.Electricbreakdowntestiscarriedoutonthepreparedthin-filmwithdifferentthickness,andeffectsofthefilmthicknessonelectricbreakdownpropertyarestudied.Resultsindicatethatthereisalinearpositivecorrelationbetweenthefilmthicknessandreciprocalsquareroot(RSR)ω-1/2ofrotationspeed.Bycontrollingrotationspeed,differentfilmthicknesscanbeobtained,thethickerthefilmis,thehigherthebreakdownvoltage,butloweraveragebreakdownstrengthwillbeobtained.Themaximumbreakdownvoltageandbreakdownstrengthofthepreparedpolyimidethinfilmimidizedat280℃