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无尘室相关标准无尘室原理无尘室衡量标准无尘室验收标准Contents无尘室原理无尘室概念:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100～100K级,适用局部净化级别要求高的区域。对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。0102依据送风方式的不同：可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。Class1～100均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%~4%。Class1000～100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%~30%。测量单位：微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。洁净度——参照STD-209EAirChangeHEPA遮蔽率无尘等级AirChange(次/hr）HEPA遮蔽率Class100240~48050%~100%Class100017~24010%~35%Class10000108%~10%Airchange:FFU的表面积*风速*FFU数量/CleanRoom体积HEPA遮蔽率：FFU的表面积*FFU数量/CleanRoom面积风速、温湿度气流速度为：0.3~0.5m/s(60~100ft/min)。一般之温度控制范围：T=(21±2)℃一般之湿度控制范围：(45±5)﹪RH压差在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。无尘室验收标准用ParticleCounter(MetOne）测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。依据ISO14644-1可分为三种操作状态：⑴完工状态-无制程设备、原料或工作人员。⑵完工后停止生产状态-室内有制程设备，不含工作人员。⑶运转状态-三者皆在工作状态。取样次数要求单一方向气流的测试数量方法一、气流的流入体积/25方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根选数字小者非单一方向气流的测试数量方法：气流的流入体积/洁净度等级的平方根例如：计算iMac所使用的洁净室的测试数量(1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/=3次例如：计算M97所使用的洁净室的测试数量方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次方法二、(16*1.9*2.1)m/=7次无尘室验收标准测试点要平均分布各测试点须一个以上的取样数各测试点的取样数不一样也可以全体需5个以上的取样数取样需两点以上洁净度取样要求洁净度判断标准两个条件需同时满足：在每个测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下实例说明在RingRoom空态下，共取3个点，每个点测量0.5um的粒子，测量记录如下：第一点8、0第二点20、8第三点11、23、14判断依据一、在各测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下第一点的平均值（8+0)/2=4第二点的平均值（20+8)/2=14第三点的平均值（11+23+14)/3=16小结：满足判断依据二、这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下上限值UCL=M+SE*UCL系数M：平均值的平均M=(4+14+16)/3=11.3SE：标准误差SE=SD/SD：