《集成电路版图设计（活页式）》课件 1-6版图设计的概念.pptx

版图设计概念

版图设计概念

1、版图和版图设计的概念、版图设计的要求。

1、主要的版图设计流程概念。

版图设计概念

版图:就是一组相互套合的图形，各层版图相应于不同

的工艺步骤，每一层版图用不同的图案来表示。版图

与所采用的制备工艺紧密相关。

版图设计:就是按照线路的要求和一定的工艺参数，设

计出元件的图形并进行排列互连，以设计出一套供IC

制造工艺中使用的光刻掩膜版的图形，称为版图或工

艺复合图。

版图设计概念





数字版图

模拟版图

版图设计概念

版图设计是制造IC的基本条件，版图设计是否合理对成品率、

电路性能、可靠性影响很大，版图设计错了，就一个电路也做

不出来。若设计不合理，则电路性能和成品率将受到很大影响；

版图设计必须与线路设计、工艺设计、工艺水平适应。版图设

计者必须熟悉工艺条件、器件物理、电路原理以及测试方法。

版图设计概念

作为一位版图设计者的要求：

首先要熟悉工艺条件和器件物理，才能确定晶体管的具体尺

寸。铝连线的宽度、间距、各次掩膜套刻精度等；

其次要对电路的工作原理有一定的了解，这样才能在版图设

计中注意避免某些分布参量和寄生效应对电路产生的影响。

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值得一提的是在半导体工艺中可能考虑得更多的是元器件的剖

面结构，也就是纵向结构。

可在版图设计中更多需要考虑的是平面结构，这一点贯穿整个

设计过程的始终；

版图设计一定需要同时理解纵向结构和平面结构，以及两者之

间的关联。

小结

版图和版图设计的概念、版图设计的要求

主要的版图设计流程概念