《集成电路测试技术项目教程（活页式）》课件 2-1.集成电路测试简介.pptx

集成电路测试简介

集成电路测试在产业链中的地位2集成电路整体产业链集成电路整体产业链首先从设计开始，然后是集成电路晶圆制造；制造完成的晶圆要经过集成电路晶圆测试环节后才能进行封装；封装完成的电路需要再次经过测试，并判断合格后才能进入终端客户应用市场。可以看到在整个集成电路产业链中有集成电路晶圆测试、集成电路成品测试两个测试环节，它们在整个产业链中起着非常重要的作用。

测试原理3集成电路测试原理集成电路测试原理如图，图中，待测电路DUT（DeviceUnderTest）可以是集成电路晶圆，也可以是封装完成的集成电路成品电路；针对每一种DUT都要制定相应的测试规范，从而形成一组测试输入，测试输入也称为测试码或者测试生成（TestGeneration）；测试系统根据测试输入生成输入定时波形，并施加到待测电路的输入引脚上，然后从待测电路的输出引脚上采样得到相应的输出波形，形成一组测试输出（或者称为测试响应），并分析该测试响应是否完整、正确地显示了待测电路的实际输出。测试输入（测试码）待测电路（DUT）测试输出（测试响应）测试系统

测试原理4集成电路测试主要考虑DUT的技术规范，如电路最高时钟频率、指标精度、输入/输出引脚的数目等。另外，还要考虑测试费用、电路可靠性、测试服务能力、软件编程难易程度等。

测试原理测试输入（测试码）待测电路（DUT）测试输出（测试响应）测试系统集成电路测试原理图中的测试系统大致包括以下几部分：（1）测试仪：主要用来给待测电路施加输入，并采样输出。（2）测试界面：主要根据DUT的封装形式、最高时钟频率及测试仪的资源配置和界面板卡形式等合理地选择测试插座，并设计制作测试负载板。（3）测试程序：主要包括控制测试仪的指令序列，其中需要考虑待测电路的类型、物理特征、工艺、功能参数、环境特性、可靠性等。

测试目的集成电路测试的目的，是保证芯片在恶劣环境下，能够完全实现设计规格书所规定的功能及性能指标。集成电路测试通常是由一系列测试项目组成的，从各个方面对芯片进行充分测试。每一个测试项目都会产生一系列的测试数据，不仅可以判断芯片性能是否符合标准、是否可以进入市场，而且还能从测试结果的详细数据中，充分、定量的反映出每个芯片从结构、功能到电气特性的各种指标。

集成电路测试的分类根据在产业链中所处的位置，集成电路测试分为集成电路晶圆测试和集成电路成品测试两大类。本书主要介绍集成电路晶圆测试技术。根据目的和应用，集成电路测试分为抽样测试、可靠性测试和产品定型测试等。根据测试的侧重内容，集成电路测试分为功能测试、性能参数测试等。根据待测电路的类型，集成电路测试分为数字集成电路测试、模拟集成电路测试、混合信号集成电路测试以及超大规模片上系统电路（SOC）测试等。

集成电路测试的应用集成电路测试是验证设计、控制工艺、管理生产、保证质量、分析失效以及指导应用等的重要手段；集成电路测试应用在集成电路开发、生产和使用的全过程。1.晶圆测试根据晶圆测试结果，集成电路设计人员可以进行设计评估；集成电路工艺人员可以进行工艺的调整；集成电路生产运行管理人员可以制订生产计划等等。

集成电路测试的应用92.成品测试根据成品测试结果可以挑选出合格的产品；也可以根据实际测试得到的性能参数指标对产品进行分级并统计各级电路数量。一般质量管理人员监控产品的质量；生产运行管理人员控制产品的生产计划。3.其他阶段集成电路测试除了以上两大类集成电路测试类型及相关应用外，在集成电路开发和生产过程中还会进行以下几种类型的测试，它们同样很重要。

集成电路测试的应用（1）抽检测试。为了确保集成电路产品的质量，通常会对准备入库的合格电路进行抽检，以检验其是否确实达到了规定的质量要求。另外，在向客户提供批量产品前，也会根据需要进行抽检。

集成电路测试的应用（2）可靠性测试。可靠性是指集成电路长期使用的可靠度指标，是电路在规定时间和额定条件下工作时出现故障的概率。为评估电路的可靠性，需要进行可靠性测试。通常是在高电压、大功率等外加应力情况下，测试电路的电性能参数，进而评估这些参数的变化量。

集成电路测试的应用（3）产品定型测试。在集成电路产品设计定型、生产定型时，为全面鉴定产品的电性能所做的测试即为产品定型测试。这种测试有别于其他测试类型，主要表现在除了要测试规定环境和额定工作条件下电路的各项性能指标是否符合规范要求外，还需测试电路的允许工作范围，如工作电压、工作温度等。这种测试主要用于电路的失效分析、可靠性研究等。

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